天博体育官网晶圆制造
使用先进的光学元件、激光器和复合材料构建可最大限度提高吞吐量和良品率的设备。
- 极致稳定使用热创新材料构建光刻和晶圆处理工具。
- 提高良品率有多种激光器供选择，可支持几乎任何检测任务。
- 可靠的euv光刻使用质量一流的天博体育官网₂，确保高可靠性和长使用寿命。
在任何节点都提供出色性能
从尖端的3nm芯片到成熟的100nm+工艺，均可使用（天博体育官网herent）（天博体育官网herent 高意的激光器、光学元件和先进复合材料来构建工具，以确保一致、经济高效且可靠的操作。我们的创新材料（包括混合陶瓷和碳化硅）可打造出能够满足euv光刻的严苛要求的机械部件，正如我们的激光器光学元件和金刚石窗口片一样。此外，我们的一整套激光器可支持几乎任何检测任务，以及执行打标和退火等各种材料加工作业。
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