天博体育官网スプレイ制造におけるレーザ：エキシマレーザアニーリング
coherent エキシマレーザは、より高辉度で、より高解像度の、よりエネルギー效率の高い天博体育官网スプレイを実现します。
2022 年10月4日、天博体育官网herent
现在、ほとんどの携帯电话に使われている（AMOLED）（El）天博体育官网スプレイは、非常に美丽な（高辉度、高鲜鋭度）天博体育官网スプレイです。その背后で、メーカーは消费电力を抑える工夫をしています。天博体育官网スプレイは通常、携帯电话の他のどの部分よりも多くのバッテリー电力を消费するため、これは重要なことです。これを実现するために、膨大な技术が投入されています。その中で、
coherent天博体育官网ザを用いた最も重要な加工方法の11.5 m x 1.85 m （第 6.5个々の天博体育官网スプレイのコストを下げるため、さらに大型化したいと考えてい天博体育官网。
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问题はアモル天博体育官网スです。
このシリコンの层には少し问题があります。これを作るための化学気相成长法では、アモルファスシリコンを生成します。アモルファスシリコンは、个々の原子が不规则かつ无秩序に配列しています。アモルファスシリコンを使った回路は、电子的な特性が良くないため、天博体育官网スプレイが暗くなり、バッテリー电力の消费量も多くなります。
それに対して、携帯电话をはじめとするあらゆる电子デバイスの集积回路は、単结晶シリコンで制作されてい天博体育官网。単结晶シリコンでは原子が高度に配列しており、この配列が优れた电子特性を生み出し天博体育官网。これが、现代のマイクロプロセッサが惊异的に高速である理由の1つです。
残念ながら、マイクロプロセッサに使われる単结晶シリコンウエハを作る技术は、マザーガラスパネルのサイズに近いものを作るにはスケールアップができません。しかし、シリコンの中には、原子が规则正しく并んでいる「多结晶シリコン」があることがわかりました。ここで重要な指标となるのが电子移动度であり、多结晶シリコンの电子移动度はアモルファスシリコンの200 倍にもなります（単结晶シリコンの电子移动度は通常、多结晶シリコンの2（2倍以上）。多结晶シリコンの使用が、现在の天博体育官网スプレイの発展の大きな要因となっています。
天博体育官网スプレイ制造のための优れたアイデア
では、多结晶シリ天博体育官网を手に入れるにはどうすればいいでしょうか。少なくとも理论的には、それほど难しいことではありません。アモルファスシリ天博体育官网の层が溶けるまで加热し、その后急冷して多结晶に固めればいいのです。
问题は、シリ天博体育官网を溶かすために约600
それを解决するのが、低温多结晶シリ天博体育官网（ ltps）（ELA）という技术です。この技术はcoherentエキシマ天博体育官网ザに依存してい天博体育官网。
エキシマ天博体育官网ザを使用する理由は、非常に强力な紫外线のパルスを発生させることができる唯一の光源だからです。シリコンは紫外线を强く吸收するため、高いパルスエネルギーと相まって、わずか数回の天博体育官网ザパルスで薄いシリコン层を急速に溶かすことができます。正しい多结晶体形成と望ましいエレクトロニクス特性を得るためには、このほぼ完全な溶融が不可欠です。
エキシマ天博体育官网ザの出力を细いラインビームにし、これをマザーガラス上に高速走查することで效率よく elaを行うことができます。
また、シリコンは吸収率が高いため、下のガラス（フレキシブル天博体育官网スプレイの場合はポリアミド（PI）層）には紫外線があまり入り込みません。したがって、ELA時にシリコンをしっかり溶かしても、ガラス自体は熱くなりません。このため、ELAは一般的な安価なガラスパネルで実施することができます。これが、携帯電話のAMOLED天博体育官网スプレイ用LTPSの製造方法にELAしかない理由です。
大型マザーガラス基板上でela を行うには、エキシマ天博体育官网ザから通常长方形のビームを、パネルと同じ幅の细いラインビームに作り直します。この细い线状のビームをガラス板に当て、全长にわたって走查することで、シリコンの溶融と再固化を実现します。
天博体育官网でのELA
携帯电话は年间约15亿台作られています。トップメーカー各社は、1日に约100 万台の携帯电话を天博体育官网しています。もちろん、これらの企业は生产加工方法に高い信頼性と低コストを求めています。なぜなら、こうした大量天博体育官网では、一瞬でも组立ラインを止めたり、スクラップを作ったりすると、とてつもないコストがかかってしまうからです。
coherent linebeam システムは、费用対效果に优れた量产型 ela ソリューションとして、主要な天博体育官网スプレイメーカーに采用されています。
coherent は、天博体育官网业が求める品质、信頼性、スループット、コスト特性を実现するために、天博体育官网herent linebeamとしてuv uv天博体育官网ザと光学系を一体化して提供しています。これは、制造用Elaを确実に実现する唯一の方法です。现実の世界では、大量生产されるELA システムに复数の异なるコンポーネントが组み込まれているため、それぞれが优れたパフォーマンスを発挥し、さらにシステムの他の部分と完璧に连动する必要もあります。これらのコンポーネントには以下が含まれます：
- エキシマ天博体育官网ザ（天博体育官网Vyperシリーズ）（）（）。これは、非常に高いエネルギーのパルスを高い缲り返し率で（必要なスループット速度を达成天博体育官网ため）
- linebeam 光学系。长方形のエキシマ天博体育官网ザ光を、极めて安定した强度を持つ细长い线に作り直します。これは、 eLa加工方法の特性がビームに沿った位置によって変化しないために必要です。
- 加工方法の品质と一贯性を検证し、保证天博体育官网ためのアクティブな监视および制御システム。
ela は、高品质なフラ天博体育官网パネル天博体育官网スプレイの生产に不可欠です。この状况はすぐには変わることはないでしょう。coherent は、次世代の大型スマートフォンやタブレット端末に使用されるマザーガラスの大型化を求めているメーカーに対応するために linebeamシステムの规模を拡大し続けてい天博体育官网。
