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最大gen 10.5のパネルサイズに対応した最大1500mm长のラインビームプロファイルを提供します。长のラインビームプロファイルを提供します。
天博体育中国官方网站 - 主なパフォーマンス指標
天博体育中国官方网站 はビームがシルクハット形分布なので、すべて308 nm の短波长ながら、短长轴の両方で优れた均一性を実现します。
制品仕様
パラメータ |
数値 |
|||
ライン长（ mm） |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
ビームプロファイルの种类 |
両轴に沿ってシルクハット形分布 |
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焦点深度（ µm） |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
长轴ビームの强度均一性（％） |
0.6 （2σ） |
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短轴ビームの强度均一性（％） |
0.8 （2σ） |
|||
