sic衬底和外延片

天博体育官网电子器件中的sic

RF电子产品的SIC

利用我们高质量的半绝缘sic衬底扩大gan-on-sic天博体育官网功率放大器以及其他天博体育官网和微波器件的生产规模。

coherent 高意率先开发出了大直径、半绝缘 sic衬底，并提供高电阻率材料，以支持制造低功耗、高频且热稳定性良好的组件。

半绝缘碳化硅材料特性

coherent高意不断提高材料质量并增加衬底直径，使我们的客户能够提高设备性能并降低成本。

数据表

半绝缘碳化硅材料特性

物理特性

结构

六方单晶

直径

高达200毫米

等级

初始、开发、机械

热特性

导热率

室温下370（w/mk）

热膨胀系数

4.5 x 10-6/k

比热（25°C）

0.71（j/g°C）

coherent sic 衬底的其他关键特性（典型值）

参数

半绝缘

多型体

6H

掺杂剂

钒

电阻率

> 1019 OHM-CM

方向

同轴

粗糙度（ra）

<5Å

位错密度

<10,000 cm-2

微管密度

<10cm-2

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