SIC기판기판

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RF电子产品的SIC

당사의당사의당사의당사의기판으로기판으로

coherent는는대직경기판의기판의낮은전력，고주파고주파고주파및열안정성을갖춘구성

반절연반절연카바이드

coherent는는장치의높이고절감할있도록소재의품질을지속적으로기판의。。

데이터

반절연반절연특성

물리적

149993_149997

육각형，단결정

직경

최대200mm

등급

프라임（prime），개발（开发），기계적（机械）

열적

열전도율

실온에서370（w/mk）

열팽창

4.5 x 10-6/k

비열（25°C）

0.71（j/g°C）

coherent sic기판의기타속성（일반적인값）

매개변수

반절연

폴리타입

6H

도펀트

바나듐

비저항

> 1019OHM -CM

방향

축방향

거칠기，ra

<5Å

전위

<10,000cm-2

마이크로파이프

<10cm-2

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