SIC衬底和外延片

天博综合体育app下载器件中的sic

制造MOSFET、IGBT和其他组件,这些组件可用于电动和混合动力汽车以及航空航天应用中的高温、高频天博综合体育app下载器件。

我们的导电sic 衬底结合了低电阻率、低缺陷密度、高均匀性、卓越的晶体质量和高导热性,使天博综合体育app下载具有低功耗、高频特性和良好的热稳定性。

n型碳化硅材料特性

coherent高意不断提高材料质量并增加衬底直径,使我们的客户能够提高设备性能并降低成本。

n型碳化硅材料特性

物理特性

结构

六方单晶

直径

高达200 mm

等级

初始、开发、机械

热特性

导热率

室温下370(w/mk)

热膨胀系数

4.5 x 10-6/k

比热(25°C)

0.71(j/g°C)

coherent sic 衬底的其他关键特性(典型值)

参数

n型

多型体

4H

掺杂剂

电阻率

> 1019 OHM-CM

方向

4°离轴

粗糙度(ra)

<5Å

位错密度

〜3,000 cm-2

微管密度

<10cm-2