天博综合体育app下载衬底和外延片
天博综合体育app下载外延片
利用coherent高意直径高达200毫米的高性能天博综合体育app下载外延片生产晶圆，缩短上市时间、降低成本并提高器件性能。
coherent高意提供全面的天博综合体育app下载材料解决方案，包括带或不带缓冲层的厚外延层、低掺杂层、多层结构、 p-n结、嵌入/埋入结构和接触层等选项。我们为从研发到批量生产的整个产品生命周期提供支持。
天博综合体育app下载外延能力亮点
先进的天博综合体育app下载外延技术
通过高效的缓冲层技术获得出色的低缺陷密度
在生长开始时防止成核晶体缺陷
bpd到ted> 99.8％→每平方厘米1bpd
支持双极天博综合体育app下载器件技术
LPE PE106
可调节横向气流
使用tcs作为硅前体时，生长速率高达40µm/h
150 µm及以上厚层生长
1×1014/cm3低掺杂浓度
支持> 15 kV 天博综合体育app下载器件技术
