光学
天博综合体育中国官方网站 wafers
使用天博综合体育中国官方网站锂的高折射率和可见和红外传输的独特组合，以使我们的晶片上的波导，调节剂和传感器在我们的晶片上制作。
天博综合体育中国官方网站锂是具有高化学和热稳定性的多功能材料。与玻璃（1.5）相比，它的高折射率（> 2.3）在以晶圆形式进行波导设计时，可以进行大量视野。
天博综合体育中国官方网站 Wafer锂
取决于连贯，在天博综合体育中国官方网站 Wafer制造中拥有十多年的经验，以提供满足您确切要求的晶片。
材料规格 |
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材料 |
一致：linbo3 |
材料质量 |
气泡或包含<100μm 数量<8，30μm <气泡尺寸<100μm |
方向 |
y切割±0.2° |
密度 |
4.65 g/cm3 |
居里温度 |
1142±1 |
透明度 |
> 95％的厚度为10毫米，超过450-700 nm |
天博综合体育中国官方网站规格 |
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直径 |
150 mm±0.2 mm |
厚度 |
350μm±10μm |
平整 总厚度变化（TTV） 本地厚度变化（LTV） bow 粗糙度 |
<1.3μm 翘曲<70μm @ 150毫米晶圆 <70μm @ 150 mm晶圆 RQ≤0.5nm（AFM的RMS值） |
表面质量 |
40-20 |
粒子 |
不可移动的粒子： 100-200μm≤3个粒子， 20-100μm≤20粒子 |
芯片 |
<300μm（完整的晶圆，无排除区） |
Crack |
无裂纹（Full Wafer） |
污染 |
没有不可易换的污渍（完整晶片） |
Parallelism |
<30 arc second |
方向参考扁平（x轴） |
47±2 mm |
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