新COHERENT HYPYRAPID NXT 266可以通过切割，切割和其他尺寸小至5 µm的结构在玻璃，聚合物，半导体和其他材料中燃烧孔，沟渠和其他结构。 Picsecond Orcime Ultra-Short Pulse（USP）输出，266 nm波长和10 W平均功率的组合使该天博体育app下载器可以可靠地处理具有前所未有的深度控制水平，几乎没有热影响区域。另外，重复率最高为5 MHz，而HyperRapid NXT 266的无与伦比的可靠性表示，它支持最小的停机时间的高通量产量。
当用于有机膜切割时，HyperRapid NXT 266几乎没有热影响区域，超过了HyperRapid NXT 355的已经获得的出色效果。
具有HyperRapid NXT 266可实现的非凡精度可实现许多以前不可能的精确微观结构任务，或者依靠其他方法，例如化学蚀刻（例如具有不良的成本，过程时间和环境特征）。其中包括用于制造显示的过程，有机电子，半导体IC，用于量子计算的波导，医疗植入物和用于生物分析仪器的组件。
Coherent基于公司独有的两个功能实现了该基准产品。首先是在内部具有出色质量的非线性晶体的能力，可以使天博体育app下载器的原始红外输出的频率四倍，即266 nm波长的深紫外线。没有其他组织能够始终如一地生产非线性晶体，该晶体可以在Hyperrapid NXT 266的功率水平下运行，并保证了5,000小时的寿命。
第二个关键功能是在制造深紫外天博体育app下载器中连贯的广泛体验。这需要清洁室制造设施，以及生产工作流程和组装方法，以通过最终天博体育app下载包装一直保持原始清洁度。
熔融二氧化硅微标记（线宽：〜8 µm，虽然toput：100个字符/s）。具有无与伦比的精度和最小的热影响区（HAZ）的相干性超肽NXT 266微结构材料。
除了高功率，深紫外输出外，该新天博体育app下载器还提供了其他HyperRapid NXT NXT系列产品可用的所有功能。这包括稳定的DUV功率调制，按需脉冲和可变重复率操作。
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