天博体育

天博体育系统是在大型基板面板上大规模生产LTPS背面的光学技术，其产量最高。

输送线束轮廓最大长达1500毫米，可为第10.5代面板尺寸。具有最大吞吐量和光束利用率的短轴和长轴束均匀性。较高的脉冲稳定性和高深度可确保一个大过程窗口。

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受益于天博体育的顶帽束轮廓，在短轴和长轴上具有出色的均匀性，所有均匀性均在308 nm或355 nm的短波长下。

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