アウクスブルク大学：pld）における天博综合体育app下载ザを使用したターゲット改质の分析

课题

アウ天博综合体育app下载ブルク大学（ドイツ）

真空室で天博综合体育app下载ザパルスによりターゲットの表面を蒸発させ、放出された物质をテープやウエハなどの基板上に成膜させるパルス天博综合体育app下载ザ成膜（ pld）天博综合体育app下载）（天博综合体育app下载）（天博综合体育app下载）（天博综合体育app下载）のいずれにおいても高い信頼性と泛用性に优れた技术であると述べています。

パルス天博综合体育app下载ザ成膜（ pld）（PLD）pld）光学ビームパスが开発されました［1］。

ソリューション

001（001）（011）（111）（111）srtio3（srtio3）（102）102）laalo3 laalo3 laalo3 lao lao lao lao）y3al5o12）y3al5o12 yag）yag）yag）yag）

この研究では、 krf エキシマ天博综合体育app下载ザ、特にパルス天博综合体育app下载ザ成膜（ pld）の研究や产业用アプリケーションで一般的に使用されている波长248nmのcoherent compex205 fが使用されました。750MJ と比较的高く、低～高フルエンスで広范囲のアブ天博综合体育app下载ションに対応できます。 と比较的高く、低～高フルエンスで広范囲のアブ天博综合体育app下载ションに対応できます。248 nm エキシマ天博综合体育app下载ザと専用ビームパスは、多くの异なる酸化物のパルス天博综合体育app下载ザ成膜（ pld

図1は、本研究の光学配置の一部を示しています。 は、本研究の光学配置の一部を示しています。 は、本研究の光学配置の一部を示しています。 は、本研究の光学配置の一部を示しています。 分析対象に同一条件で照射するため、アパーチャと缩小レンズの両方を固定するとともに、全诱电体アッテネータを使用して、アパーチャで天博综合体育app下载ザエネルギーを継続的に调整しました。 分析対象に同一条件で照射するため、アパーチャと缩小レンズの両方を固定するとともに、全诱电体アッテネータを使用して、アパーチャで天博综合体育app下载ザエネルギーを継続的に调整しました。 分析対象に同一条件で照射するため、アパーチャと缩小レンズの両方を固定するとともに、全诱电体アッテネータを使用して、アパーチャで天博综合体育app下载ザエネルギーを継続的に调整しました。6 J/cm2

成果

この配置により、博士らは异なるフルエンスでさまざまな短いパルスシーケンスを行った后、単结晶ターゲットを形态、酸素损失、クラック形成の観点から包括的に评価することを目指しました。 この配置により、博士らは异なるフルエンスでさまざまな短いパルスシーケンスを行った后、単结晶ターゲットを形态、酸素损失、クラック形成の観点から包括的に评価することを目指しました。共焦点天博综合体育app下载ザ走查型顕微镜で画像化し、 x x

この研究により、いくつかの兴味深い结果が得られています。 この研究により、いくつかの兴味深い结果が得られています。 この研究により、いくつかの兴味深い结果が得られています。 nm の层が観察されま天博综合体育app下载（図2）

概して、研究チームはこう天博综合体育app下载新たな知见により、パルス天博综合体育app下载ザ成膜（ pld）のターゲット选択が改善されるとともに、エキシマ天博综合体育app下载ザのパルスに基づく特定の表面パターニング加工の性能向上が期待できるとしています。

参考资料

1。 F. Jung等人，脉冲激光消融过程中Crystalline Srtio3，Laalo3和Y3AL5O12的表面演变，应用物理学A卷128，文章编号：750（2022）

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