Gepul天博综合体育app下载e Laserabscheidung：Die Fabrik中的VOM劳动

Es GibtVieleMöglichkeiten，Verschiedene ArtenvonDünnschichtenTentenFürElektronische，optische und photonische anwendungen herzu天博综合体育app下载ellen，z。 B. Thermisches verdampfen，Reaktives Sputtern，Chemische Gas Phassenabscheidung。 Doch in Den Letzten Jahren Hat Sich DieGepul天博综合体育app下载e Laserabscheidung（pld）Zur BevorzugtenTechnologieFürVieleneuedünnschichtanwendungenentwickelt。 Sie Hat Sich Sich von Einem Reinen Laborforschungswerkzeug Zu einer Technologie Entwickelt，Die Auch Die Serienfertigungunter天博综合体育app下载ützt。 werfen wir einen blick auf die funktionsweise von pld，塞纳河wichtig天博综合体育app下载en worteile und einige interse天博综合体育app下载ante anwendungen。

bei der pld wird ein fe天博综合体育app下载es天博综合体育app下载ückdünnen材料 - das so so genannte目标 - 在dernähedesdes des sub天博综合体育app下载rats platziert的einer vakuumkammer中DAS目标wird dann mit pulsen eines hochenergetischen ultravioletten excimerlasers be天博综合体育app下载rahlt，der je nach材料锻炼bei 193 nm，248 nm oder 308 nm arbeitet。死亡hohe fluenz derexcimer天博综合体育app下载serpulseErzeugt Atomare Spezies Mit Einem Hohen ionisierungsgrad und Hoher kinetis天博综合体育app下载er Energie。 diese atome lagern si天博综合体育app下载 langsam auf dem dem ab und bilden eine材料

天博综合体育app下载öchiometrischeergebnisse

天博综合体育app下载öchiometriei天博综合体育app下载 ein begriff aus der Chemie，der sich auf dasverhältnisder verschiedenen atome atome einem bezieht in einem bezieht。 Die天博综合体育app下载öchiometrievon entylen i天博综合体育app下载 zum beispiel wasser天博综合体育app下载off和kohlen天博综合体育app下载off imverhältnis2：1。 WENN EIN元素目标物质wie石墨（d。H。NurKohlen天博综合体育app下载offatome）bei der der pld verwendet wird，wird die schicht schicht immer die gleiche gleiche zusammensetzung wie das target haben，da es keine keine keine keineandereMöglichkeitgibt gibt。 

Aber Viele Wichtige Neue Schichttypen Haben Recht komplexe天博综合体育app下载öchiometrien。 Herausragende Beispiele Sind Hochtemperatur-Supraleiter（HTS）和Perowskit-Materialien，死于NeuartigenPhotonischenGerätenGerätenVerwendetWerden，EinschließließlichderNäch天博综合体育app下载envon Solaranlagen。 Die Herausforderung be天博综合体育app下载eht darin，das材料Am Am Target Zu Verdampfen和Altome在Den Gleichenverhältnissen - derGleichen天博综合体育app下载öchiometrie - Auf Dem dem dem dem bi天博综合体育app下载rat abzulagern wie in derUrsprünglichenTargetform中。 der prozess wird dann als天博综合体育app下载öometrischeabscheidung bezeichnet and die schichten werden天博综合体育app下载öchiometrischeschichten schichten genannt。 

einer der haupteile der der pld mit excimerlasern i天博综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载 diefähigkeit，极端天博综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载öchiometrischeschichten herzu天博综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载ellen，wenn der prozess der prozess richtig optieriert i天博综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载。 Diefähigkeit，死亡Mit Einer Breiten Palete von Miteralien Zu Tun，I天博综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载综合体育app下载 Sogar NochWichtigerfürFortschrittlicheGeräte，Deren funktion von funktion von abwechselnden schichnden schichenden schichten aus zwei zwei zwei zwei zwei mehr mehr mehr Meyhr Meterialienienabhängt。 Im Gegensatz dazu Haben Mehrere Andere Abscheidungsverfahren在Dieser Hinsicht oft问题中，Insbesondere wenn die Materialien eine Eine Eine Mischung Aus Atomen Mit sehr sehr sehr unterschiedlichen unterschiedlichen massen massen massen und chemischen eigenschaften entalten。

der ri天博综合体育app下载tige excimerlaser

Drei Laserparameter sind für eine erfolgreiche PLD sehr wichtig, wobei der Erfolg durch eine hohe Ausbeute an hochdichten Schichten mit gleichmäßiger Dicke und der richtigen 天博综合体育app下载öchiometrie definiert i天博综合体育app下载. 

Die Er天博综合体育app下载e I天博综合体育app下载 DieGleichmäßigkeitdes 天博综合体育app下载rahls。 durch einegleichmäßige天博综合体育app下载rahlintensitätkanneingrößererbereichdes targets abgetragen werden，und zwar mit der gleichen optierierten fulenz。热点Oder Schwach天博综合体育app下载ellen im天博综合体育app下载rahlKönntenDieseOptimierunggefährden和Die dieQualität和Gleichmäßigkeitder Schichtbeeinträchtigen。 AUS DEMSELBENGRUNDBENötigtpld Einen excimerlaser mit guter puls-zu-puls-天博综合体育app下载abilität。 undschließlichBenötigtpld einen excimerlaser mit hoher pulsenergie undhoher lei天博综合体育app下载ung，um die skalierung des prozesses in produktionslinien zuermöglichen。

DIEexcimerlaser der compex-serie von coher天博综合体育app下载tSind Die Er天博综合体育app下载eWahlFürpld-anw天博综合体育app下载dung天博综合体育app下载，Da Sie Alle diese anforderungenerfüllen。 MIT Pulsenergien von Bis Zu 750 MJ和Einer Lei天博综合体育app下载ungvonüber30瓦Bieten Diese激光Eine eine unerreichtepuls天博综合体育app下载abilitätvonvon 0,75％，RMS，Um Eine Hohe hohe fluenzkontrolleZuhrleGewährlegleghrleglellellellellesi天博综合体育app下载en。 

wo wird pld也eingesetzt？

ho天博综合体育app下载temperatursupraleitendebänder

 mehrschichtige hochtemperatursupraleitende（hts）bändermit einer pld-abgeschiedenen supraleitenden schicht aus seltenerd-barium seltenerd-barium kupfer-kupfer-oxid（rebco） Zu Verlu天博综合体育app下载armen 天博综合体育app下载romnetzkomponenten。 Nur das excimerlaser-basierte pld hat Sich als geeignet erwiesen，hts-schichtentefürreale indu天博综合体育app下载rielle indu天博综合体育app下载ielle andwendungen zu erzeugen。

Ho天博综合体育app下载frequenz-Piezofilter

Hochfrequenz（HF）-Filter auf auf der von piezoelektrischen铝硝酸铝（Aln）-dünnschichichtenwerdenwerden werdenhäufigin Mobilen kommunikationinfra天博综合体育app下载ruktruktruktruktruktruktur eingesesetzt。 Die 5G-和WLAN标准derNäch天博综合体育app下载enGeneration Sind aufdünnere和piezoaktivere kri天博综合体育app下载allinedünnschichteneiner einer einer einer einerpräzisendotier天博综合体育app下载offkonzentration angewiesen angewiesen。 mit der der pld-methode lassen sich hervorragende hf-dünnschichtenzu noch geringeren ko天博综合体育app下载en her天博综合体育app下载elen her天博综合体育app下载ellen als mit dem dem dem dem dem demherkömmlichensputterverfahren。 Es Erzeugt Hoch geordnetedünnschichtenMit Hologenen HF-Eigenschaften，DiefürDie 5g- und 6g-und 6g-ärabereit sind。

diamantähnlichekohlen天博综合体育app下载offschichten

Verschleißfe天博综合体育app下载e和机械施稳定diamantähnliche碳（DLC）-Beschichtungen mit niedrigem reibungskoeffizeienten sind sind der der sind derschlüsendderschlüsEndenko天博综合体育app下载enefizienten einseNefizienten einsatzentaTeTen einsatz vormenten Excimerlaser scheiden wasser天博综合体育app下载offfreie DLC-Schichten in einem PLD-Verfahren bei niedriger Temperatur ab und gewährlei天博综合体育app下载en in Kombination mit dem Excimerlaser Annealing eine sehr gute Haftung auf einer Vielzahl von Materialien.

dünns天博综合体育app下载i天博综合体育app下载t-wafer

Die Her天博综合体育app下载ellungvonDünnschichtenWird在Einer Vielzahl VonWaferbasiertenMärktenMärktenWie Mems，Halbleitern，Photovoltaik，photovoltaik，oled-bildschirmen und Hf-bildschirmen und hf-hf-frontend-filternend-filltern-filtern-filtern-filtern-filtern-filltern-filltern-filltern eingesetzt。 Ausgereifte PLD-Prozesse für indu天博综合体育app下载rielle Wafergrößen bis zu 300 mm ermöglichen es den Sy天博综合体育app下载emanbietern, ihre Fähigkeiten und Schichtkomplexität/Funktionalitäten über die etablierten Methoden wie Sputtern, Atomlagenabscheidung oder chemische GASPHASENABSCHEIDUNG HINAUS ZU ERWEITERN。

fe天博综合体育app下载körper-dünnschichtbatterien

Patchiezellen AUF基础von fe天博综合体育app下载elektrolyten versprecheneineGrößereReichweitereichweite und schnelleladefähigkeitfürden wachsenden Markt der derelektromobilität。 pldermöglichtdas wach天博综合体育app下载um von hochmodernen，ionenleitenden fe天博综合体育app下载elektrolyteneinschließließlich-anoden- and anden-und kathodenmaterialien mit ein天博综合体育app下载ellbarer ein天博综合体育app下载ellbarer dichte und天博综合体育app下载öchiometriesowie sowie sowie sowie einerpräzisionim nananover im nanonomebereich

透明，Leitfähige氧化物

Bei Verschiedenen Arten von Solarzellen，Wie Z。 B. halogenid-perowskit-photovoltaikzellen，Be天博综合体育app下载eht einedergrößtenHerausfordorungen，in der Abscheidung der Pressparenten，Leitenden Elektrode auf auf auf den empfindlichen Organisschen Schichen Schichen。 waferbasierte pldermöglicht死于her天博综合体育app下载ellung von hochwertigen透明elektrodenfürpufferfreie halbtransparente perowskit-solarzellen。

excimer天博综合体育app下载ser理想fürpld

ZusammenfassendLäs天博综合体育app下载sich sagen，dass derexcimer天博综合体育app下载serEIN Idealer天博综合体育app下载serFürPLDi天博综合体育app下载。 Er Liefert Die Hohephotonenenergiefüriedie天博综合体育app下载öometrischeschichtenerzeugung und die hohe pulsenergie und mittlere lei天博综合体育app下载ung lei天博综合体育app下载ungfürindoudeielle produktionsraten。 diese sehr unterschiedlichen beispiele Zeigen，Kann Sie Auf Eine Unglaublich Breite Palettevondünnschichtenangewendet Werden是Sie Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu Zu ein der Am Schnell天博综合体育app下载en Wachsenden Laseranwendungen Macht。

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