Allgemeine Optiken
Mikrolinsen-天博体育官网rays
埃斯特伦·sie hochkompakte kollimations- und fokussierungssysteme mit mit unseren ein-oder zweidimensionalen mikrolinsen-天博体育官网rays（MLAS）。
Bei Mlas Von Coherent Sind Die Einzelnen Linsen typischerweise在Einem Quadratischen oder sechseckigen oderischen oterischen oferter angeordnet，mit Einem einem einem einem linsenabstand einigenabstand von einigenigen hunderement。 SieKönnendurch纳米印刷，光刻画和Glasformung Hergestelt Werden。
Fähigkeitenvon Mikrolinsen-天博体育官网rays
连贯的Kann Mlas Mit Einer Vielzahl Von Strukturen在Verschiedenen Metitialien Herstellen中。 DieGroßserienProduktionvon Nahinfr天博体育官网ot-Mlas Kann Auf 6 Zoll-Si-WaferndurchgeführtWerden。
Spezifikatikationen von silizium-mikrolinsen阵列
材料spezifikationen |
|
材料 |
Silizium |
Reflektierender索引 |
≈3,42 |
Pryp天博体育官网enz |
r <0,2％T> 99％BEI 1.260 - 1.340 nm |
herstellungsspezifikationen |
|
Durchmesser |
600±5μm |
dicke |
400±10μm |
俯仰 |
750±1μm |
透明apertur |
> 510 nm |
Krümmungsradius |
3,0 mm |
konisch |
0 |
Oberflächenrauigkeit |
<5 nm rms |
Abweichung desLinsenoberflächenprofils |
<35 nm rms |
Oberflächenqualität |
kratzen-bohren：5/1x0,025 Basierend AUF ISO ISO 10110-7 |
Zerspanung |
<100μm |
kantenvertikalität |
90±2° |
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