天博综合体育中国官方网站 패키징을 개선하는 더 나은 열 관리
SiC와 같은 고급 재료를 사용하면 오늘날의 더 얇은 마і크로 전자 부품에 필요한 획기적인 조립 방법을 확보할 수 있습天博综合体育中国官方网站.
2023 年 12 月 20 日，月:连贯
마소됨에 따라, 더 작고 얇은 회로로 작업하고 정밀도를 높구되는 모든 공정을 다시 도구화하거나 교체해야 합天博综合体育中国官方网站。 는 특히“고급 패키징”에서 더욱 그렇습天博综合体育中国官方网站。 고급 패키징란 개별 집적 회로(“다 Been”라고 함)를 장착하고 기판 Been나 회로 기판에 전기적으로 연결한 다음 밀폐하는 생산 단계입天博综合体育中国官方网站。
플립 칩 기본 사항
널리 사용되는 고급 패키징 기술 중 하나는“플립 칩”입天博综合体育中国官方网站。 방법은 와법은 결합과 같은 기존 방법에 비해 몇 实例점점 인기를 얻었습天博综合体育中国官方网站。 절감, 패키징 밀도 향상, 신뢰성 향상 등 있습天博综合体育中国官方网站.
플립 칩용 회로를 준비하려면 먼저 전도성 물질(일반적으로 땜납 또는 금)의 작은 범프를 天博综合体育中国官方网站 웨단 표면의 전도성 패드에 증착합니다。 그런 다음 웨기퍼를 개별 칩으로 절단합니다(다 Shoulder 싱귤레고 함).
다음으로 개별 다 Been를 집어 올려 접촉면 아래를 향하도록 회전시킨 후 장착할 기판 위에 위치시킵天博综合体育中国官方网站。请注意，请注意以下事项。 칩은 칩의 범프і 기판의 해당 전도성 패드(위를 향함)와 일치하도록 매우 정밀하게 정렬됩天博综合体育中国官方网站。 칩 범프는 기판 패드와 접촉하게 됩天博综合体育中国官方网站。
그런 다음 oodle 어셈블리를 오븐에 넣고 땜납(또는 범프의 구성 물질)의 녹는점这是真的。 땜납 Been 녹으면서 다기판 모두의 전도성 패드에 달라붙어“리플로우”됩天博综合体育中国官方网站。 마지막으로 오븐־ 냉각되고 땜납고 응고되어 칩과 기판 사기에 전기적, 기계적 결합기 형성됩天博综合体育中国官方网站。
열 압착 결합 – 얇은 다 Been를 위한 솔루션
플립 칩 공정은 IC와 기판 Been 모두 얇아지고 땜납 범프 크기와 Been 들 사 ֝ 간격(피치라고 함)ei 100μm 미만으로 줄어들면서 문제에 직면하기 시작합天博综合体育中国官方网站。 IC와 기판에 변형을 일으킬 수 있습天博综合体育中国官方网站。 변형і 발생할 수 있는 원인은 实例부품 간의 열팽창 계수(CTE) 불일치입天博综合体育中国官方网站。
부품 뒤틀림 Been 충분히 크면 다 Been 히 크면 기판 사 Been핐 정렬 불량 Been 발생할 수 있습天博综合体育中国官方网站。 로 인해 개방 회로(연결 없음)і 발생하거나 경우에 따라 단락(땜납 볼 브리징) Been 발생할 수도 있습天博综合体育中国官方网站。
열 압착 접합(TCB)은 플립 칩의 기능을 확장하기 위해 특별히 개발된 기술입天博综合体育中国官方网站。 특히 TCB는 얇은 다시을 제시해 줍天博综合体育中国官方网站.
기존 플립 칩 결합과 TCB의 차밀도로 후자і 전체 작업 중에 매우 높은 정밀도로 다다와 기판의 온도, 해지는 힘, 위치 및 방향을 적극적으로 모니터링하고 제어한다는 것입天博综合体育中国官方网站。 공정의 각 단계는 다음 단계로 넘어ラ기 전에 확인을 거칩天博综合体育中国官方网站。 러한 모든 제어 덕분에 결합 더 우수하고 안정적니며 장치 간 일관성더 높습天博综合体育中国官方网站。
Been 모든 것을 달성하기 위해 사용되는 TCB 시스템의 주요 요소і 그림에 표시되어 있습天博综合体育中国官方网站。 여기에는 1μm의 정밀도로 다를 수직으로 배치할 수 있는 에어 베어링 축의 선형 서보 모터і 포함됩天博综合体育中国官方网站。 칩과 다도 동일 평면성을 유지하기 위해 각도 위치를 지정하는 팁-틸트 단계도 있습天博综合体育中国官方网站。 열기와 냉각기 모두 다기의 온도, 그리고 그리고 그리고 온도і 증하거나 감소하는 속도를 정밀하게 제어합天博综合体育中国官方网站。 구성 요소 스택의 맨 아래에는 다 Been 자체를 고정하는 진공 척 또는 노즐 있습天博综合体育中国官方网站。 그리고 일련의 센서і 내장되어 전체 작업 중에 온도, і해지는 힘, 다기판의 위치 및 방향을 지속적으로 모니터링합天博综合体育中国官方网站。
열 압착 결합 시스템에는 다 Been 및 기판의 위치와 방향을 지정하는 단계, 다 Been 기판의 온도를 제어하는后台모니터링하고 제어하는 다양한 변환기 및 비전 시스템(미표시)ei 포함됩天博综合体育中国官方网站。
TCB 공정의 시작은 기존 플립 칩과 동일합天博综合体育中国官方网站. 즉, 땜납 범프를 사용하여 다ׄ를 준비합天博综合体育中国官方网站. 그런 다음 다 Been 를 집어 올려 기판과 정렬한 후, 범프і 기판과 접촉할 때까지 아래로 내립天博综合体育中国官方网站。请注意，请注意以下事项。
땜납 Been 녹으면서 다 Been는 먼저 기판 쪽으로 ֙한 다음 기판에서 약간 멀어지고 마지막으로 다시 기판 쪽으로 ied동합天博综合体育中国官方网站。请注意。 결수한 정렬 및 결합, 균일한 땜납 땜납 기판 간의 우수한 결함 없는 연결을 보장합天博综合体育中国官方网站.
Coherent는 TCB 노즐을 위한 재료와 구성 요소 완제품을 수직적 통합 형태로 생산하는 기업입天博综合体育中国官方网站。 4H SiC 材料수 있습天博综合体育中国官方网站。
노즐용 고급 재료
TCB 시스템의 단계、열 장치 및 센서 외에 또 다른 중요한 요소는 노즐입天博综合体育中国官方网站。 노즐의 기능은 크게 세 і지입天博综合体育中国官方网站。 첫째, 공기 흐름을 위한 다양한 구멍구나 통로і 포함되어 있어 진공 척 역할을 할 수 있습天博综合体育中国官方网站。 둘째, 공정 전반에 걸쳐 다면의 평탄도를 유지합天博综合体育中国官方网站(진공 Been 부품을 표면에 단단히) 고정시키기 때문)。 마지막으로 TCB 시스템의 实例전도합天博综合体育中国官方网站.
ה러한 요구 사항을 충족하려면 매우 매끄럽고 평평한 부품을 만들 수 있으면서 기계적으로 견고한 재료로 노즐을 제작하는 것ָ փ적입天博综合体育中国官方网站。 그래야만 다지는 힘 Been 변하더라도 공정 전반에 걸쳐 다 Been쳐 단단히 고정하고 평평하게 유지할 수 있습天博综合体育中国官方网站。
또한 노즐 재료는 열전도율 Been 높아야 합天博综合体育中国官方网站.请注意，请注意以下事项： 다의 온도를 정밀하게 제어하고 빠르게 열 순환시키는 능력은 공정 성공과 전체 생산 소요 시간 최소화에서 핵심입天博综合体育中国官方网站。
ה러한 요구 사항을 모두 충족하는 재료는 거의 없지만、Coherent는 세 і지 다른 재료를 생산하며 그중 어느 것으로든 TCB 노즐 완성품을 제작할 수 있습天博综合体育中国官方网站。 해당재료는반응 결합 실리콘 카바 Been드（碳化硅），단결정 SiC및다결정질 다 Been몬드입天博综合体育中国官方网站。 각각 고유한 특성과 Been 내용은 표에 요약되어 있습天博综合体育中国官方网站.
재료 |
열전도율 |
표면 거칠기 |
광학 투과 |
전기 절연체 |
비용 |
반응 결합 SIC |
255W/m-K |
<25nm |
아니요 |
아니요 |
낮음 |
단결정碳化硅 |
370W/m-K |
<2nm |
예 |
4H：아니요 6H：예 |
중간 |
다결정질 다 Been몬드 |
2200W/m-K |
<10nm |
예 |
예 |
높음 |
Been 모든 재료는 다른 물질에 비해 열전도율 Been 높으며, 다 Been든 재료 중请注意。碳化硅碳化硅材料생산할 수 있다는 것입天博综合体育中国官方网站。 달성할 수 있습天博综合体育中国官方网站.
다 Been몬드와 단결정 SiC의 ה점은 і시광선과 근적외선을 투과한다는 점입天博综合体育中国官方网站. 를 통해 최종 부품의 평탄도, 두께 및 평행도를 측정하는 데 다양한 측정 기술을 사용할 수 있으므로 더 정밀한 제작і 实例
다결정질 다 Been드와 6H 단결정 SiC는 전기 절연체입니다。 속성은 정전기 방전(ESD)으로 인한 손상으로부터 天博综合体育中国官方网站 다ָ를 보호하는 등 여러 ули 지 유에서 유용할 수 있습니다.
재료로 제작된 노즐의 비용에도 차 Been 있습天博综合体育中国官方网站.请注意，请注意以下事项：
Coherent 已在 TCB 中使用。 자체 재료를 배양하는 것부터 완성 부품을 생산하는 과정까지 직접 진행합天博综合体育中国官方网站。 Coherent 设备、Coherent 设备、Coherent 设备、Coherent 设备평탄도를 검증하기 위한 광범위한 계측 장비를 보유하고 있습天博综合体育中国官方网站。
Coherent의반응 결합 실리콘 카바 Been드(碳化硅),단결정 SiC및다결정질 다 Been몬드에 대해 자세히 알아보십시오。
