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308 nm의단파장에서단축과모두에서우수한균질성을제공하는제공하는균질성을의의빔。
제품
매개변수 |
값 |
|||
라인라인（mm） |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
빔빔 |
양축에서양축에서 |
|||
초점（µm） |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
장축（％） |
0.6（2σ） |
|||
단축（％） |
0.8（2σ） |
|||
