天博体育app下载制造における相干の活跃

coherentのuv レーザは、天博体育app下载ウェハ上の微细な欠陥の検出を可能にし、歩留まりの最大化とコスト削减において重要な役割を果たしています。

2024 年10月17日、天博体育app下载herent

1960年代にNASAが月面着陆のために使用天博体育app下载アポロ诱导コンピューター（が月面着陆のために使用天博体育app下载アポロ诱导コンピューター（が月面着陆のために使用天博体育app下载アポロ诱导コンピューター（が月面着陆のために使用天博体育app下载アポロ诱导コンピューター（は、当时の価格で约1亿1亿5千万ドル（现在の価値で10亿ドル）を费やし、电子レンジほどの大きさで重さは约32 kgで天博体育app下载。

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このマイクロプロセッサの性能向上は、 intelの共2 年ごとに倍増すると述べてい天博体育app下载。しかし、先ほどの比较は「ムーアの第二法则」とも呼ばれるムーアの法则の重要な帰结も强调してい天博体育app下载。つまり、1ドルあたりのマイクロプロセッサの性能も时间とともに指数关数的に向上するということです。

ムーアの第一および第二法则は、天博体育app下载业界が同时に2

天博体育app下载制造における重要なコスト要因の一つが歩留まりであり、これに影响を与える大きな要因の一つが制造环境内の欠陥や污染物质です。欠陥を减らすために、メーカーはクリーンルームなどの设备に多大な投资を行い、污染を初期段阶から防止します。さらに、発生した欠陥の影响を最小限に抑え、最适な歩留まりとコスト效率を确保するために、先进的な検查技术も导入しています。

ウェハ検查における天博体育app下载ザ技术

レーザは天博体育app下载検查に最适なツールです。その理由は、レーザは感度と速度の比类ない组み合わせを提供する非接触的な方法だからです。さらにレーザは极めて泛用性が高く、さまざまな种类の検查タスクを実行するために最适化することができます。

その结果、天博体育app下载ザはマイクロエレクトロニクス业界の黎明期から検查に使用されてきました。1960年代后半、天博体育app下载ザが市场に登场して间もなく、ウェハの平坦度や厚さの测定といった计测作业に既に活用されていました。

1980 年代に入り、天博体育app下载デバイスがより小型化し复雑化すると、业界は他の天博体育app下载ザを使った検查手法を采用し始めました。これらの技术は、ウェハ表面に天博体育app下载ザビームを照射し、反射光を解析することで、粒子や伤、パターンのずれといった欠陥を検出する方法です。この时期には、より高度な天博体育app下载ザを使った検查システムが开発され、高品质な天博体育app下载制造に不可欠な微细な欠陥の検出が可能になりました。

次の数十年で、天博体育app下载ザを活用した手法は大きく进化し、散乱解析などの先进的な计测技术が导入されました。散乱解析は、ウェハ表面からの反射光のパターンを天博体育app下载ザで解析することで、従来は検出できなかった微细な欠陥の発见を可能にしました。

小さな回路が天博体育app下载に大きな课题を生み出す理由

チップの世代が进むごとに、ウェハ検查の重要性と难易度が天博体育app下载天博体育app下载高まってい天博体育app下载。その理由は、ノードのサイズを小さくするたびに、チップのアーキテクチャが复雑になり、新しい材料と、より小さく、より复雑な机能が组み込まれるようになるからです。これらの进歩は、性能の限界を押し広げる一方で、欠陥が生じる新たな可能性ももたらし天博体育app下载。そして、これほど小さなスケールの作业では、ウェハ内の最も小さく軽微な欠陥でさえ机能不全のチップにつながる可能性があり天博体育app下载。

天博体育app下载がってメーカーは、主要な加工ステップを终えるたびに厳格な検查を行い、欠陥を早期に発见しなければなりません。こう天博体育app下载検查を行うことによって、歩留まり（ウェハあたりの使用可能なチップ）（）、スループット（生产スピード）、そして最终的には收益性を最适化することができます。

回路の小型化という特徴により、検查の必要性が剧的に高まっており、この検查はしばしば天博体育app下载ザによって最适に行われます。

ここで理解すべき重要な概念は、欠陥検出の限界を広げるには短波长天博体育app下载ザが必要であるという点です。なぜなら、光の散乱效率は光の波长と検查対象の特徴や欠陥のサイズとの关系に依存するからです。特徴の寸法が光の波长よりもかなり小さい场合、散乱效率が低下し、これらの特徴や欠陥からの信号が弱まります。つまり、このような欠陥は検出できない可能性があり、少なくとも大量の天博体育app下载制造に対応する时间内では困难です。

光の散乱と欠陥サイズの关系から、より小さな欠陥を検出するには短波长天博体育app下载ザが必要になります。现在、最も高度なウェハ検查作业には266 nm天博体育app下载ザが使用されています。

20 年前、トランジスタが扱いやすい110 nm（532 nm）（uv）（uv）天博体育app下载ザで十分でした。しかし、回路の微细化により、业界は深紫外线（ duv）天博体育app下载ザへの需要が高まっています。

天博体育app下载herent はこの课题に正面から取り组み、 2002azureレーザを导入しました。このレーザは光励起天博体育app下载（ OPS）技术を使用して绿色の出力を生成し、これを周波数倍増させて266 nmのDUV

azure は単一の周波数安定化波长で连続波（ cw）出力を提供します。azure天博体育app下载ザは、狭い波长、高出力、低ノイズ、そして极めて高い安定性を兼ね备えており、高スループットの天博体育app下载制造に必要な速度で小さな欠陥を确実に検出できます。

coherent が他社と一线を画しているのは、长寿命かつ信頼性の高い高出力の深紫外线天博体育app下载ザを提供できる点にあります。これを実现できる理由はいくつかあります

まず、当社は自社で非线形结晶を制造してい天博体育app下载。深紫外线领域での作业には、非常に高い精度で制造された极めて高品质の结晶が不可欠です。必要な品质レベルを备えた周波数倍増结晶を得るには、自社で制造するしかありません。

さらに、当社は天博体育app下载ザ内の光学マウントに独自の特许技术である固定permalign 构造を采用しています。このマウントは优れた长期安定性を提供し、一切の调整が不要です。 permalign マウントにより、天博体育app下载ザ共

加工中のウェハチャック天博体育app下载ける部品适合性のgo/no goチェック

また、ウェハ検查には、高速な动作と部品取扱いの机构に加え、测定ノイズを最小限に抑えるための非常に安定天博体育app下载表面が求められます。当社は、最も高度な検查システムに必要な低热膨张率（ CTE）、高强度、および高い强度対重量比を备えたステージやその他のツール向けに、反応结合シリ天博体育app下载カーバイド（ RBSIC）を供给してい天博体育app下载。

将来のロードマップ

天博体育app下载业界がさらに小さなノードに向かって进歩するにつれ、検查天博体育app下载ザへの要求はますます厳しいものになっています。幸いにも、これは相干のコアとなる强みと完全に一致しています。私たちは大手のウェハ制造机器メーカーと密接な协力关系を维持しており、当社の制品が天博体育app下载制造プロセスのニーズに适合しているだけでなく、それを见越した対策が取られていることを保证しています。このように coherent は、现在、そして未来の検查の课题を、メーカーが克服できるよう支援します。

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