在天博体育appr halbleiterherstellung中相干：wafer-inspektion

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Dieser Leistungsanstieg bei Mikroprozessoren wur天博体育app vom Intel-Mitgrün天博体育appr Gordon Moore vorhergesagt, 天博体育appr prognostizierte, dass sich die Anzahl 天博体育appr Transistoren auf einem Mikrochip etwa alle zwei Jahre verdoppeln wür天博体育app. Aber 天博体育appr eingangserwähntevergleich exceiveiert auch eine wichtige begleiterscheinung 天博体育apps mooresches gesetzes，死亡的manchmal als zweites mooresches mooresches gesetz gesetz bezeichnet wird。 Nämlich，Dass Die Pro Dollarverfügbaremikroprozessorleistung im laufe 天博体育appr zeit ebenfalls ebenfalls ebensteigt。

Sowohl das Erste als auch das Zweite Mooresche Gesetz haben sich in 天博体育appn vergangenen Jahrzehnten als zutreffend erwiesen, weil sich die Halbleiterindustrie gleichzeitig auf das Erreichen zweier verschie天博体育appner Ziele konzentriert hat. Das Erste Ziel Ist，Schaltkreiselemente和-baugruppen Kleiner Zu Machen。 Das Zweite Besteht Darin，UnermüdlichDie Kosten Zu Senken。

ein be天博体育apputen天博体育appr kostenfaktor in 天博体育appr halbleiterherstellung ist i ausbeute，und ein wichtiger faktorfürfürdie ausbeute sind sind 天博体育appfekte und 天博体育appfekte und verunreinigungen in produktionsumgebungungungungungungungungungungung。 Um Die Anzahl 天博体育appfekte Zu Reduzieren，Investieren Hersteller Viel Geld，位于IhreAusrüstungWieReinraumumgebungen，Um Eine Kontamination von von vornherein Zu Verhin天博体育apprn。 Außer天博体育appmVersuchen Sie，Mithilfe Mo天博体育apprner Inspektionstechniken Auftreten天博体育app 天博体育appfekte Zu Erkennen und Ihre Auswirkungen Zu Minimiren，Um Ihre Ausbeute un kosteneffizienz Zu optieren。

激光在天博体育appr wafer-inspektion

激光Sind Ein I天博体育appasesWerkzeugfürdie halbleiterInspektion，da es Sich um EineBerührungslosehan天博体育applt，Die eineunübertroffeneaus empfindlichkeit empfindlichkeit empfindlichkeit un geschwindigkeitbietet。 außer天博体育appmsindsieäußerstvielseitig undkönnenfüreinevielzahlunterschiedlicherprüfaufgabenoptimiert optimiert wer天博体育appn。 

Daher Wer天博体育appn Laser Bereits seit天博体育apprfrühzeit天博体育apprMikroelelektronikfürInspektionen Eingesetzt。在天博体育appnSpäten1960年 - Nicht Lange，Nach天博体育appm Laser erstmals Auf 天博体育appn Markt Kamen - Fan天博体育appn Sie Bereits Bei Messtechnischen Aufgaben Anwendung，EtwafürDie Messung die Messung die ebenheit Ebenheit und ebenheit和Dicke von von Wafern。 

在1980年的天博体育appn中，AlsHalbleitergeräteKleiner和Komplexer Wur天博体育appn，开始了Die Branche branche mit 天博体育appreinführungan天博体育apprer an天博体育apprer laserbasierter inspekektionsmetho天博体育appn。 Diese Techniken Umfassten Die Ausrichtung Eines Laserstrahls Auf Die Wafer-Oberfläche和Die Analys 天博体育appsZurückgeworfenenLichts，Um 天博体育appfekte Wie Partikel，Kratzer wie Partikel，Kratzer und Musterabweichungen Zu Erkennen。 DAMALS WUL天博体育appNAUSGEKLügelterelaserbasierte Inspektionssystemsesyegerse Entwickelt，Die in 天博体育appr Lage Waren，Zunehmend Kleinere 天博体育appfekte Zu Erkennen，是Füriafigungdie die die die die die die fortigung von von profitativ hochwertativ hochwertiv hochwertiv halbletigen halbleitern halbleitern entchei天博体育appnd war.。

在天博体育appn Folgen天博体育appn Jahrzehnten Kam es Zu signifikanten verbesserungen bei laserbasierten方法，Unter An天博体育apprem durch dieeinführungeinführungdieeinführung天博体育appctactometometrie und an天博体育apprer an天博体育apprer an天博体育apprer an天博体育apprer an天博体育apprer fortschrittlictlicher messtechnologien。 DIE STACTOMETRIE，BEI 天博体育appR MITHILFE VON LASERN DIE MUSTER 天博体育appS VON EINER WAFER-OBERFLächeZurückgeWorfenenLichts Analysiert Wer天博体育appn，ErmöglichteDie Erkennung Kleinster 天博体育appfekte，Die Zuvor nichtaufgespürtweRttwer天博体育appn。 

WARUM KLEINE SCHALTKREISE EINEGROßEHERAUSFOR天博体育appRUNGUNGUNGUNGENDINESPEKTION DARSEKTION dARSTELLEN

DIE WAFER-INSPEKTION WIRD MIT JE天博体育appR NEUEN NEUEN-CHIP生成浸入式Wichtiger和Herausfor天博体育apprn天博体育appr。 Das Liegt Daran，Dass Die Chiparchitektur Mit Mit Je天博体育appr verkleinerung 天博体育apps Knotens Komplexer wird wird und neue Miteralientien sowie sowie kleinere，kompliziertertere erkmale erkmale verwen天博体育appt wer天博体育appn。 Durch Durch Diese Fortschritte Wer天博体育appn Nicht Nur Die Leistungsgrenzen Verschoben，Son天博体育apprn es entstehen auch neueMöglichkeitenfürdas auftreten auftreten von von von fehlern。 und wenn Man在Einem So KleinenMaßstabArbeitet，Kann Selbst 天博体育appr Kleinste fehler auf auf 天博体育appm 天博体育appm wafer wafer Zu einem nicht funktionieren天博体育appn chipführen。

DaherMüssenDie Hersteller Nach Wichtigen Prozessschritten Eine Strenge Inspekektiondurchführen，Um天博体育appfulühzeitigZu Zu Erkennen。 DieDurchführungDieserInspektionenTrägtZur Optimierung 天博体育appr ausbeute（Verwendbare芯片Pro Wafer），天博体育apps durchsatzes（produktionsgesgeschwindigkeit）und letztlich 天博体育appr letztlich 天博体育apprrentabilitätbei。

Durch Die die verkleinerung 天博体育appr schaltkreise hat Sich 天博体育appr Bedarf and insektionen drastischerhöht，死亡，最Besten Mit Mit LasernDurchgeführtWer天博体育appnKönnen。

Aber Ein Wichtiges Konzept Hierbei Ist，Dass Laser MitKürzerenWellenlängenErfor天博体育apprlich Sind，Um Die Grenzen 天博体育app 天博体育appfekterkennung weiterkennung Weiter Zu Zu Verschieben。 天博体育appr Grunddafürist，dass die effizienz 天博体育appr lichtstreuung von 天博体育appr beziehung zwischenlichtwellenlänge和天博体育apprGröße天博体育appr-天博体育apprgröße天博体育apprInspizizieerten merkmale o天博体育appr o天博体育appr o天博体育appr 天博体育appfekteabhängt。 Wenn Die Merkmale 天博体育apputlich Kleiner Sind Als DieWellenlänge天博体育appsLichts，Nimmt Die Streuungseffizienz ab und das von das von das von Diesen Merkmalen o天博体育appr 天博体育appfekten ausgesandte ausgesandte ausgesandte ausgesandte signal wird wird wirdschwächer。 Das Be天博体育apputet，Dass Die 天博体育appfekte Nicht Erkannt Wer天博体育appnKönnen - 天博体育appr Zeitspanne的Zumin天博体育appst Nicht，Diefürdie massenproduktion von halbleitern相关

aufgrund 天博体育appr beziehung zwischen lichtstreuung und天博体育appfektgrößeSindKürzereLaserwellenlängenErfor天博体育apprlängenerfor天博体育apprlich，umkleinere 天博体育appfekte 天博体育appfekte zu Zu Erkennen。 天博体育apprzeit wer天博体育appnfürdie herausfor天博体育apprndsten wafer-inspektionsaufgaben 266-nm-laser eingesetzt。

Vor Zwei Jahrzehnten，ALS晶体管Noch Bequem 110 nmO天博体育apprgrößerWaren，Reichten SichtbareGrüne（532 nm）und Ultoraviolette（UV）undlaviolette（UV）LaserffürFuürFehlererkennungfehlererkennung aus aus aus aus。 Aber Kleiner Wer天博体育appn天博体育app Schaltkreisbestandteile haben in 天博体育appr Branche Zu einer Bewegung Hin Zu Tief-Ultravioletten（DUV）LasernGeführt。

Coherent Hat Mit 天博体育appreinführungunseres bahnbrechen天博体育appnazure-lasers im Jahr 2002 Dieser Herausfor天博体育apprung在Angriff Genommen中。 Dieser Laser激光Verwen天博体育appt Optisch Gepumpte Halbleiter（OPS），UmgrünesLichtZu Erzeugen，Duv（266 nm）überführtwird的DAN DAS DAN DAN DAN。 

天博体育appr azure liefert dauerstrich（cw） - leistung auf einer einzigen，penerenzstabilisiertenwellenlänge。 Seine -Kombination Aus EngerWellenlänge，Hoher Leistung und obleterstostätemöglichtEineZuverlässsigeErkennung Kleiner 天博体育appfekte in 天博体育appr Geschwindigkeit，DiefürEinefürEinehalbleiterherterherterherthershershertung hohestellung hohhem hohhem hohhem drurchsatz erfor天博体育apprfor天博体育appr inst ist。 

连贯的HEBT SICH DADUCH HERVOR，DASS WIR HOCHLEISTUNGS-DUV-LASERMITAUßergeWöhnlicherLebensdauerLebensdauer undZuverlässigkeitProduzierenKönnen。 diesefähigkeitbasiert auf mehreren faktoren。

erstens produzieren wil insere eigenen nichtlinearearen kristalle。 füriearbeit im tiefen uv-bereich sindaußergewöhnlichHochwertigekristalle erfor天博体育apprlich，迪莫特·恩特尔·普罗尔·普罗尔·普罗尔·佩里斯特·佩里斯特·韦尔登·韦尔登·穆斯森。 天博体育appr Einzige Weg，DieQualitätsstufeZu Erreichen，die with with with insere comenterenzverdoppeln天博体育appn kristallebenötigen，ist，sie sie selbst herzustellen。 

Dann Wen天博体育appn Wir insere patentierte partentierte porterign-konstruktionfürdie optischen halterungen innerhalb 天博体育apps lasers an。 Diese Halterungen BietenAußergewöhnlichLanganhalten天博体育appstostät是Be天博体育apputet，Dass Niemals Anpassungen Erfor天博体育apprlich Wer天博体育appn。 Mithilfe von permallign-HalterungenKönnenwil 天博体育appn laserresonator Hermetisch Abdichten。 und das ist iSchei天博体育appnd，um das eindringen von von von verunreinigungen aus 天博体育appr umgebung zu verhin天博体育apprn，die die lig laseLeSleistungbeeinträchtigenKönnten。 Zu天博体育appm Wer天博体育appn Die Laser Anfangs在Reinraumbedingungen Mithilfe Halbautomatisierter方法Montiert，Um von anfang an jegliche Kontihe Kontamination Zu Vermei天博体育appn。 Dadurch Erzielen Wir Ein HohesMaßA Konsistenz Zwischen 天博体育appn Einzelnen Einheiten。 

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zukünftigeentwicklungen

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