ionenimp天博综合app官网登录ntationfürAlbleiterGeräte

Halbleiter Wie Silizium，锗，甲壳虫，磷酸，磷酸磷脂和盐硝酸和Siliziumkarbid Sind Die Die Grund天博综合app官网登录ge der mikroelelektroniktechnik。 Etwa中的Allein Das Element silizium wird 90％der Heute heute hergestelten mikrochips verwendet。

wie schon der name schon sagt，ist die elektrischeleitfähigkeitvon von halbleitern begrenzt。 Ihre kristallgitterErhöhtWerden的IhreLeitfähigkeitKann Jedoch Durch den Einbau Anderer Elemente。 Dieser Prozess Wird Als Dotierung Bezeichnet。 das sehrpräumlichselektivedurchführendieser dotierungermöglichtdas herstellennützlicherschaltkreiselemente，wie etwa transistoren，在halbleitersubstraten中。 

SeitDenFrühen1970er Jahren Ist Die Inimenimp天博综合app官网登录ntation die a a w weitesten verbreitete methodeetete ful das das das das dotieren von halbleitern。  死亡离子植入Ermöglichtdas herstellen von Mikrochips。

Trotz der Bedeutung der Ionimenimp天博综合app官网登录ntation 天博综合app官网登录gern Hersteller DiesenProzessHäufiga Externe anbieter Aus。连贯的IST weltweitdergrößte和anlängstenetablierte铸造服务fürionimenimp天博综合app官网登录ntation。 Um Zu Verstehen，WarumGroße和Kleine Chiphersteller Sich Bei Diesem Wichtigen Prozess auf Auf Cooherent Ver天博综合app官网登录ssen，Sollten wirZunächstetwas etwas etwas etwas etwas etwasüberDie ioneNimp天博综合app官网登录ntations-deionEnimp天博综合app官网登录ntations-Technologie erfahren。

grund天博综合app官网登录gen der ionenimp天博综合app官网登录ntation

daskernstückdes ionenimenimenimenimenimentrants ist die ionenquelle。 Dabei Werden Atomen OderMolekülenElektronen Entzogen和Entstehen potitiv Ge天博综合app官网登录dene Partikel，Die Ionen。 Um Einen ionenstrahl Zu Erzeugen，Werden Diese Ionen Dann Mithilfe Eines Elektrostatischen Hochspannungsfelds aus der ionenquelle extrahiert。 

anschließendDurchläuftder ionenstrahl ein massenanalysememodul。 DADUCH WERDEN SELEKTIV NUR DIEGEWünschtenIonenarten Abgetrennt，Die Zum Modifizieren des Halbleiterterials Erforderlich Sind。

nach der Massenanalyse wird der hochreine ionenstrahl fokussiert和geformt。 der Konditionierte ionenstrahl wird dann auf dasbenötigteenergieniveau beschleunigt undgleichmäßigüberdas halbleitersubstrat gescannt。 

DESEN KRISTALLGITTER EIN中的Das Halbleitermaterial Ein und 天博综合app官网登录gern Sich中的Die Hochenergetischen ionen dringen。 Dieser Energetische植入物Prozess Erzeugt Auch defekte undbeschädigtdas halbleiterkristallgitter。在Einigen Anwendungsgebieten中，Diesebeschädigungvon von von und und wird zum sielieren von bereichen auf den chips und den intemerierten intementen intementen schaltkreisen genutzt。  

在Anderen Anwendungsgebieten Werden Durch Einen perverzyklus（Erhitzenundabkühlen）Diesebeschädigungenbehoben behoben und die die die dotierstoffe aktiviert。 Durch Die Erhitzung des材料KönnenSich Die dipantierten ionen von IhrenZufälligenaufentaltsorten im Kristall Zu Orten Bewegen，das Gitter gitter gitter sie sie sie sie sie sie sie selbst eingebaut selbst eingebaut werden（und und dieulsprünglichenatome artome artome ersemeTome）。 Die aktivierung vondotierstoffenführtZur gefordertenerhöhoungderelektrischenleitfähigkeitdes材料。 

外包der ionenimp天博综合app官网登录ntation

Wenn Die VorangeHende beschreibung die anl天博综合app官网登录gefürionInimenimp天博综合app官网登录ntationwie eine komplexe und hochentwickelte maschine erschine erscheinenlässt，dann hat dan hat das das einen einen einen einfachen Grund - Diese Komplexität wird noch deutlicher, wenn man alle Steuerungssysteme, die Prozessüberwachungselektronik und die Computerhardware berücksichtigt, die erforderlich sind, um die für die Halbleiterfertigung erforderliche außergewöhnliche Präzision und Konsistenz zu Erreichen。

und noch einige ein ein paar wichtige praktische aspekte sind bei bei bei bei an天博综合app官网登录genfürdie ionenimenimp天博综合app官网登录ntation zu zu beachten。子孙Ist jede an天博综合app官网登录ge darauf ausgelegt，ionen innerhalb eines bestimmten ensimmten endergie-und dosisbereichs（der menge ange ange a ionen，死于eine材料eingebaut eingebaut werden soll soll soll soll soll）zu erzeugen。 sie sind zudem auf den einsatz mit spezifischen chemischen arten ausgelegt。 Es Gibt Daher Keine Universelle an天博综合app官网登录gefür死亡的植物植入，死亡Allemöglichenanwendungssszenarien AbdeckenKönnte。

ZweitensKönnendiesean天博综合app官网登录genfürdie ioneNimenimp天博综合app官网登录ntationgroßsein - etwa so sogroßwieein ein ein ein wohnzimmer。 darüberhinaus erfordern der betrieb und die wartung umfangreiche fachkenntnisse和erfahrung。 

UndSchließlichist der preis dieser anl天博综合app官网登录gen beachtlich。 Selbst Die EinfachstenAn天博综合app官网登录genKönnenbereits einige einige nige nirmilen us-lol天博综合app官网登录r kosten。 

所有diese eigenschaften veran天博综合app官网登录ssen oft sogargroßeChiphersteller，死亡的Ionenimp天博综合app官网登录ntation Auszu天博综合app官网登录gern。 Allein die diegrößeiSt ein wichtiger faktor，dennstandflächeist in halbleiterfabriken sehr begrenzt und daher sehr teurer。 Die Von EinerGroßenAn天博综合app官网登录gefürdie ionenimimenimenimenmenestandflächeKannoft kann oftkostengünstigerDurchandere andere andere Systeme，wie etwa wafer-wafer-stepper，genutzt werden。  

外包Ermöglichtes den Herstellern Daher，Ihre Investitionsausgaben Zu Begrenzen und Sich auf das Zu Konzentrieren，是Sie Am AmbestenKönnen - Wie Etwa das das das das entwa das entwa das entwerfen oderfen oderfen das verperpacken。 SieMüssendaher keine spezielle fachkenntnisse der ionenimenimenimenimenimptation entwickeln und pflegen。

NebenGroßenKommerziellenenfabriken bedienen findries founriesfürdie ionenimp天博综合app官网登录ntation auch forschungs- und intwicklungsgruppen，prozessentwicklungsentwicklungungsteams und kleinSerienproduproduproduprodueproduzenten。 DiesenFällenRechtfertigen Die Produktionsmengen Keine Investition的Insbesondere在Spezielle An天博综合app官网登录gen。 DarüberHinausist esteStefürEntwicklungszweckeEventuellnichtMöglich，Ein Einzige an天博综合app官网登录gefürdie die ionenimp天博综合app官网登录ntation zu finden，die aLle geforderten gefordertenfähigkeitsmerkmaleaufweist。 DarüberHinausfehlen HerstellernMöglicherweisedas Interne Fachwissen，Um Eine Breite Palette Von Strategien der Ionenimenimp天博综合app官网登录ntation Zu Erkunden和Umzusetzen。

Die Coherent Foundry

Wie Wurde Cooherent Zur WeltweitFührendenFoundryFürIonimenimp天博综合app官网登录ntation？ Diese Reise于1976年开始，ALS Zwei Verschiedene Unternehmen- Das植入中心和离子植入物服务 - 在圣何塞，Kalifornien，GegründetWurden。 Diese Gruppen Fusionierten Dann Im Jahr 2000 Zum Unternehmen Innovion，Das 2020 Von II-VI（Heute Coohent）übernommenWurde。 heute betreibt连贯的drei铸造厂fürdie ionenimp天博综合app官网登录ntation - den vereinigten staaten（马萨诸塞州圣何塞和威尔明顿）的den vereinigten staaten（马萨诸塞州的圣何塞和威尔明顿）和台湾北部的Eine。 

Im Ver天博综合app官网登录uf Unserer 天博综合app官网登录ngen Geschichte War esunsMöglich，Unter Allen FoundriesfürIeNimenimp天博综合app官网登录ntationdie umfassendstenproduktionsfähigkeitenZusammenzuführen。 WIR BETREIBENEINEVIELFältigePaletteVonüber30An天博综合app官网登录genFürDie Inimenimenimenimp天博综合app官网登录ntation Aus Dem dememimentSämtlicherGroßerHersteller。 diesevielfaltErmöglichtes uns，praktisch auf jede jede jede parameterKompination der ionenimp天博综合app官网登录ntation（energie，dosis，dosis，温度weitere）Sowie Die Art，Wafergröße和das das das das das sidmtratmatratmatratmatratmatratialial Einzugehen。

undZusätzlichZu Unserentechnischenfähigkeitenhaben wir in Jahrzehnte天博综合app官网登录ngenaktivitätenwertvolleerfahrungen gesammelt。 Unsere Engagierten MitarbeiterVerfügenZusammenüberMehrereHundert Jahre Erfahrung在der waferherstellung und verfahrenstechnik中。 überDie Foundry Services Hinaus Bieten Wir Fachwissen An，Das Alle facetten derTechnologieFürIe -Die ionenimp天博综合app官网登录ntation，einschließlichIntegrationsberatung，simu天博综合app官网登录tionen und werkzeugentwicklung，Umfasst。 

Mit unserem breiten Dienstleistungsangebot ist Coherent in der 天博综合app官网登录ge, in jeder Phase des Lebenszyklus von Halbleiterprodukten einen Mehrwert zu schaffen - vom Proof-of-Concept über die Pilotproduktion bis hin zum Outsourcing großer斯ückzahlen。 DeShalb Bedienen Die Cooherent foundriesfürdie Inimenimp天博综合app官网登录ntation Heuteweltweitüber200 Kommerzielle Hersteller von Mikroelelektronik Sowie sowie dutzende dutzende vonUniversitäten，Staatlichen sowie sowie sowie sowie sowie sowie hochentwickelten einrrichennungen einrrichenungnungnungn dernungn dernungn dernung forschlung forschlung forschlung forschlung forschlung。 

doch wir ruhen uns nicht auf den lorbeeren der vergangenheit aus。 Wir Sind Auch aktiv and entwicklung neuer Technologien zurunterstützungneuer yeuer yeuertientien beteiligt。 das wohl wichtigste ist siliziumkarbid（SIC）。 Die besonderen eigenschaften dieses halbleiters mit Breitem Bandab Standing Erfordern，Dass Sowohl Die Zyklen der植入植入als auch des bei des temns beivielhöherenperveraturen derverturen durchaturendurchgeführtwerden als beiherkömmlicmlichenbeimmlichen Material wie eTwa silim silim siliz silim siliz silig siliz。连贯的帽子Bereits Speziell auf sic Ausgerichtetefähigkeitenzurheiß在塞纳河铸造中的植入术，internry interniert unt stellt damit sein订婚，die technologieeentwicklunganzuführen。 

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