光学系
天博体育中国官方网站ウエハ
天博体育中国官方网站の高屈折率と可视光线および赤外线透过率の独自の组み合わせを使用して、当社のウエハ上に导波路、変调器、センサーを作成します。
天博体育中国官方网站は、高い化学安定性と热安定性を备えた多机能材料です。（> 2.3）はガラス（1.5）と比较して、导波路设计用にウエハ形式で制造された场合に、広い视野を実现します。
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天博体育中国官方网站ウエハの制造において10年以上の経験を持つcoherentにお任せください。お客様の要件を正确に満たすウエハを提供します。
材料仕様 |
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材料 |
一致：linbo3 |
材料品质 |
気泡または含有物<100μm 数量<8，30μm <気泡サイズ<100μm |
向き |
yカット±0.2° |
密度 |
4.65 g/cm3 |
キュリー温度 |
1142±1 |
透明性 |
> 450 ～700 nmの厚さ10mmで95％ |
制造仕様 |
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直径 |
150 mm±0.2 mm |
厚さ |
350μm±10μm |
平坦度 総厚み変动（ttv） 局所厚み変动（ltv） たわみ 粗さ |
<1.3μm ワープ<70μm @ 150 mm天博体育中国官方网站 <70μm @ 150 mm天博体育中国官方网站 RQ≤0.5nm（AFMによるrms値） |
表面品质 |
40-20 |
粒子 |
除去できない粒子： 100 ～200μm≤3 20 ～100μm≤20の粒子 |
チップ |
<300μm（天博体育中国官方网站全体、除外ゾーンなし） |
割れ目 |
割れ目なし（フルウェハ） |
污染 |
除去できない污染なし（フルウェハ） |
平行度 |
<30秒角 |
方向は平面を参照（x轴） |
47±2 mm |
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