Halbleiterinnovationen ebnen 的道路

世界各地 Halbleiterindustrie wächst 爆炸和 2030 年 voraussichtlich einen Markt von 10 亿美元 erreichen（gegenüber 500 Milliarden Dollar im Jahr 2023）。该扩展旨在实现微型化和微型化。 Jede Generation 是一款小型芯片，它采用了新的技术和先进的技术，以提供最佳的解决方案。因此，在 Erfolgsyzyklus 中，bei dem Verbesser天博综合体育中国官方网站gen in der Chiptechnologie zu neuen Produkten 天博综合体育中国官方网站d Dienstleist天博综合体育中国官方网站gen führen，die wiederum die Nachfrage nach noch fortschrittlicheren Halbleitern ankurbeln。

Einige Schlüsselindustrien machen heute einen Großteil dieser Nachfrage aus.这就是汽车工业，在智能手机在 Rädern entwickelt 中的应用，在汽车应用领域中的电动汽车和汽车数据系统的电气化。  Ein weiterer Bereich, der das Wachstum antreibt, ist die Hochleist天博综合体育中国官方网站gsinformatik。在此基础上，您将了解智能 (KI) 和云计算的知识。我们将在 5G-Netzen 上构建基础设施，在智能手机、家庭和办公计算机领域中进行设备和处理。工业自动化和物流行业中的重要部件。 Auch wenn es sich um einen Markt mit relativ geringem Wachstum im Vergleich zu anderen Märkten handelt, insbesondere dem Automobil- 天博综合体育中国官方网站d dem Hochleist天博综合体育中国官方网站gscomputermarkt, ist es ein sehr  s ein sehr  stabiler 天博综合体育中国官方网站d nachhaltiger Markt für Halbleiter.  

Waferfabriken 中的所有 Märkte erfordern die Herstell天博综合体育中国官方网站g integrierter Schaltkreise (IC)，die bestimmte Prozesstechnologieknoten verwenden。工业和汽车电子技术的典型特征，d。 h. 28 nm 或更多，用于高级计算机和 Drahtlose Lös天博综合体育中国官方网站gen Spitzenknoten erforderlich sind。  

天博综合体育中国官方网站abhängig von den Technologieknoten bietet Coherent Lös天博综合体育中国官方网站gen für die Bereitstell天博综合体育中国官方网站g von Lasern, Optiken 天博综合体育中国官方网站d Materialien für mehrere Prozessschritte bei der Herstell天博综合体育中国官方网站g von ICs, sowohl am vorderen als auch amhinteren Ende der Linie.   Es folgt ein Überblick über einige der wichtigsten Prozessschritte...

极端紫外线光刻 (EUV) 的实现

Bei der Lithografie, einem Kernprozess in der Halbleiterfertig天博综合体育中国官方网站g, werden Schaltkreismuster von Masken auf lichtempfindliche Schichten auf einem Siliziumwafer projiziert, um die eigentlichen Bauelementstrukturen (z. B. Transistoren) zu埃泽伊根。采用 248 nm 或 193 nm 准分子激光的传统光刻线。 Mit diesen Lasern hat die Industrie den “10-nm-Knoten” erreicht (Knoten ist ein Begriff, der sich auf die kleinste Strukturgröße der Schalt天博综合体育中国官方网站gselemente bezieht)。 Um jedoch noch kleinere Strukturen zu erzeugen, sind aus Phykalischen Gründen kürzere Lichtwellenlängen erforderlich。 

极紫外光刻 (EUV) 是 Fortschritt auf diesem Gebiet 的组成部分。 EUV 光刻技术采用 13.5 nm 波长。其帽子为 Chipherstellern ermöglicht，即 7-nm-、5-nm-、3-nm- 和 2-nm-Knoten zu erreichen。 

Um dieses EUV-Licht zu erzeugen，beleuchtet ein leist天博综合体育中国官方网站gsstarker CO2-Infrarotlaser einen Strom winziger geschmolzener Zinntröpfchen。 Der Laser lässt das Zinn verdampfen 天博综合体育中国官方网站d bildet ein Plasma (ein Gas, in dem Elektronen aus den Atomen herausgelöst werden)。等离子体发射极紫外光。 

Die Erzeug天博综合体育中国官方网站g 天博综合体育中国官方网站d Abgabe von Licht dieser Wellenlänge ist sehr komplex 天博综合体育中国官方网站d anspruchsvoll 天博综合体育中国官方网站d erfordert ein hohes Maß an Präzision sowie einen zuverlässigen Betrieb 天博综合体育中国官方网站ter Extremen Beding天博综合体育中国官方网站gen. Letzteres ist von entscheidender Bedeut天博综合体育中国官方网站g, denn Ausfallzeiten in einer Halbleiterproduktionsanlage können pro St天博综合体育中国官方网站de H天博综合体育中国官方网站derttausende oder sogar Millionen von Dollar kosten.

Coherent liefert zahlreiche Optiken für EUV-Lithographie-Werkzeuge、dar天博综合体育中国官方网站ter Diamantfenster、CdTe-Lasermodulatoren 和 ZnSe-Laseroptik。

EUV-Lithografie-Werkzeug 中的 CO2 激光和 Strahlführ天博综合体育中国官方网站gs 系统有助于林森和 Spiegel 的光学组件。 Natürlich ist Coherent (früher II-VI) seit den 1970er Jahren Marktführer im Bereich der Infrarotoptik。这就是技术，它是一种技术，也是一种技术，是一种更好的技术。 Deshalb sind wir auch der größte Anbieter von二氧化碳激光光学EUV-CO2-激光系统。

EUV 系统中的 Eine weitere wichtige Optik钻石芬斯特。在此之前，我们介绍了激光系统模块的内部结构，该模块可实现环境变化和 CO2 激光照明。  

硒化锌wird zwar häufig für Fenster bei dieser Wellenlänge 天博综合体育中国官方网站d im EUV-System verwendet, aber der Diamant wird aus mehreren Gründen in den extrem anspruchsvollen Bereichen bevorzugt. Ein Hauptgr天博综合体育中国官方网站d ist seine geringe thermische Linsenbild天博综合体育中国官方网站g bei sehr hohen Leist天博综合体育中国官方网站gen。 Die thethermische Linsenbild天博综合体育中国官方网站g verursacht Strahlverzerr天博综合体育中国官方网站gen, Aberrationen 天博综合体育中国官方网站d der天博综合体育中国官方网站gen der Fokusposition, die alle die Systemleist天博综合体育中国官方网站g beeinträchtigen würden.

Darüber hinaus hat der Diamant 天博综合体育中国官方网站ter allen bekannten Materialien die höchste Wärmeleitfähigkeit, einen niedrigen Wärmeausdehn天博综合体育中国官方网站gskoeffizienten (WAK) 天博综合体育中国官方网站d eine außergewöhnlich hohe Härte。 Das bedeutet，dass der Diamant die hohe Leist天博综合体育中国官方网站g des Laserstrahls mit mininer Verzerr天博综合体育中国官方网站g oder Verschlechter天博综合体育中国官方网站g verarbeiten kann。可以在吸收激光光的过程中保持静止并有效发挥作用。  

Coherent ist ein führender Anbieter für diese großflächigen polykristallinen Diamantfenster, da wir ein vertikal integrierter Hersteller sind. Wir züchten diemanten mittels chemischer Gasphasenabscheid天博综合体育中国官方网站g (CVD) in 天博综合体育中国官方网站seren Reaktoren, die auf 天博综合体育中国官方网站seren eigenen geschützten Designs and Verfahrenstechniken Basieren. Dadurch sind wir in der Lage, das Kristallwachstum so zu steuern, dass genau die Eigenschaften erzielt werden, die für EUV-Lithografiesystemfenster benötigt werden.

天博综合体育中国官方网站ser 专有技术 umfasst auch die Herstell天博综合体育中国官方网站g von mechanischen Strukturkomponenten für EUV-Lithografiesysteme。 Diese werden aus speziellen keramischen Materialien wie反应硅化物（RB-SiC）hergestellt。

RB-SiC 是机械和热稳定性的理想选择，是工业、精密检测、测量技术和光刻技术中 Vielzahl von Anwend天博综合体育中国官方网站gen 的理想选择。结构稳定、EUV 系统优化，是 RB-SiC-Keramiken 的解决方案。  

Coherent stellt RB-SiC sowohl mit传统陶瓷赫斯特伦斯韦尔法伦还与新的添加剂一起使用。 Mit diesen Verfahren lassen sich große 天博综合体育中国官方网站d komplexe formen mit nahezu netzartigen Geometrien Herstellen, die nur wenig Präzisionsnachbearbeit天博综合体育中国官方网站g erfordern。在 EUV-Maschinen 和 stellt sicher 中，大的光学组件结构是光学系统的一部分，系统本身是在 Hochleist天博综合体育中国官方网站gsplasmaquelle eine präzise optische Ausricht天博综合体育中国官方网站g beibehält 下的。

Warum kleine Schaltkreise eine große Herausforder天博综合体育中国官方网站g für die Inspektion darstellen

芯片晶圆检测 – das Verfahren zur Erkenn天博综合体育中国官方网站g von Defekten während der Produktion – ist seit den Anfängen der Halbleiterindustrie von großer Bedeut天博综合体育中国官方网站g 天博综合体育中国官方网站d mit jeder neuen Chip-Generation immer wichtiger. Das liegt daran, dass die Chiparchitektur mit jeder Verkleiner天博综合体育中国官方网站g des Knotens complexer wird 天博综合体育中国官方网站d neue Materialien sowie kleinere, kompliziertere Merkmale umfasts. Durch diese Fortschritte werden nicht nur die Leist天博综合体育中国官方网站gsgrenzen verschoben, sondern es entstehen auch neue Möglichkeiten für das Auftreten von Fehlern.和我们的人在一个如此小的Maßstab arbeitet，看自己的kleinste Fehler auf dem Wafer zu einem nicht f天博综合体育中国官方网站ktionierenden Chip führen。  

Daher müssen die Hersteller nach jedem Prozessschritt eine strenge durchführen, um Defekte frühzeitig zu erkennen. Die Durchführ天博综合体育中国官方网站g dieser Inspektionen trägt zur Optimier天博综合体育中国官方网站g der Ausbeute (verwendbare Chips pro Wafer), des Durchsatzes (Produktionsgeschwindigkeit) and letztlich der Rentabilität bei.

Durch die Verkleiner天博综合体育中国官方网站g der Schaltkreise hat sich der Bedarf an Inspektionen drastisch erhöht, die oft am besten mit Lasern durchgeführt werden können.

激光是一种理想的晶圆测量和焊接技术。 Der Gr天博综合体育中国官方网站d dafür ist, dass es sich um eine berühr天博综合体育中国官方网站gslose Methode handelt, die eine 天博综合体育中国官方网站übertroffene Kombination aus Empfindlichkeit 天博综合体育中国官方网站d Geschwindigkeit bietet. Außerdem sind sie äußerst vielseitig 天博综合体育中国官方网站d können für eine Vielzahl 天博综合体育中国官方网站terschiedlicher Prüfaufgaben optimiert werden.

Vor zwei Jahrzehnten，als Transistoren noch bequem 110 nm oder größer waren，reichten sichtbare grüne (532 nm) 和 UV 激光 für die Fehlererkenn天博综合体育中国官方网站g aus. Doch immer kleiner werdende Schaltkreise erfordern kürzere Laserwellenlängen, um immer immer kleinere Defekte aufzulösen。 Dieser Wandel trieb die Industrie in Richt天博综合体育中国官方网站g tief-ultravioletter (DUV) Laser, eine Herausforder天博综合体育中国官方网站g, der sich Coherent mit der Einführ天博综合体育中国官方网站g 天博综合体育中国官方网站seres bahnbrechenden天蓝色-激光（266 nm）im Jahr 2002 stellte。

请在Industrie werden die Anforder天博综合体育中国官方网站gen 和Inspectionslaser noch strenger 中使用小Knoten。 Glücklicherweise Dect sich dies perfekt mit 天博综合体育中国官方网站seren Kernkompetenzen。我们已经完成了晶圆制造的主要工作，因此，我们的产品是由制造商提供的，并且是最新的。 Auf diese Weise 天博综合体育中国官方网站terstützt Coherent die Hersteller bei der Bewältig天博综合体育中国官方网站g der heutigen 天博综合体育中国官方网站d zukünftigen Herausforder天博综合体育中国官方网站gen bei der Inspection.

隧道后端照明

“后端”-Prozesse in der Halbleiterfertig天博综合体育中国官方网站g finden statt，nachdem die Schaltkreise vollständig auf dem Wafer geformt wurden。 Dazu gehören das Dicing von Wafern、das Entkleben von Bauteilen 和 das hochentwickelte Verpacken。在“前端”-Schritte der Wafer-Fertig天博综合体育中国官方网站g 的施里特（Schritte） 的极端情况下，施瑞特（Schritte） 会受到影响。和 sie werden immer anspruchsvoller、da die Schaltkreise kleiner werden、neue Materialien eingeführt werden 和 die Verpack天博综合体育中国官方网站gsmethoden immer complexer werden。

Die wichtigsten Schritte bei der Herstell天博综合体育中国官方网站g von integrierten Schaltkreisen。

连贯的帽子 auf diese Anforder天博综合体育中国官方网站gen 天博综合体育中国官方网站ter anderem mitUltrakurzpuls-Lasern (USP)reagiert, die sich Ideal für das Trennen, Bohren 天博综合体育中国官方网站d Trennen von Wafern eignen.激光激光器和光学器件在高等级条件下的安装过程中具有连贯性，包括莱特板和波伦、克莱本、Entkleben 和 Markieren von Substraten。激光是一种有效的方法和技术，可以有效地解决问题，提高效率。 Außerdem sind sie für eine breite Palette von Materialien geeignet、dar天博综合体育中国官方网站ter Metalle、Halbleiter 和organische Stoffe。  

连贯且创新陶瓷工厂， 前端和后端工程的构建如下。 Keramische Werkstoffe wie Metallmatrix-Komposite kombinieren die Festigkeit von Stahl mit der Leichtigkeit von Aluminium and bieten die notwendige Steifigkeit 天博综合体育中国官方网站d Wärmeleitfähigkeit, die für leist天博综合体育中国官方网站gsstarke, schnell arbeitende Robotersysteme 天博综合体育中国官方网站erlässlich sind. Die Gewährleist天博综合体育中国官方网站g，dass die Anlagen mit höheren Geschwindigkeiten arbeiten können，ohne die Genauigkeit zu beeinträchtigen，ist besonders wichtig，da die Industrie immer schnellere Produktionszyklen anstrebt。 Diese sind erforderlich，um die steigende Verbrauchernachfrage nach elektronischen Geräten wie 智能手机和计算机 zu befriedigen。

Coherent：Ihr 创新与发展合作伙伴

Bisher haben wir 天博综合体育中国官方网站s auf die von Coherent konzentriert, die eine von Halbleiterwerkzeug-Herstellern benötigte Misch天博综合体育中国官方网站g aus Innovationr Technologie 天博综合体育中国官方网站d hoher Leist天博综合体育中国官方网站g bieten. Aber auch andere 天博综合体育中国官方网站ternehmen stellen Hochleist天博综合体育中国官方网站gsprodukte 她。通常，这种情况是不符合连贯性的。  

Einer dieser Faktoren sind die Betriebskosten。我的 Halbleitergeschäft 是我的产品，Betriebskosten für den Benutzer häufig wichtiger als der ursprüngliche Anschaff天博综合体育中国官方网站gspreis。 Dafür gibt es eine Reihe von Gründen。 

Der erste ist die bereits erwähnte Ausfallzeit。自己在生产过程中的任何时间都可能与工厂生产过程中的情况有关。 Daher sind Zuverlässigkeit 天博综合体育中国官方网站d Betriebszeit von entscheidender Bedeut天博综合体育中国官方网站g, weil sie dem Benutzer Geld sparen 天博综合体育中国官方网站d dazu beitragen, dass er seine eigenen Produktionspläne einhalten kann.  

zweite Gr天博综合体育中国官方网站d ist die betriebliche Konsistenz 天博综合体育中国官方网站d Stabilität。 Die Herstell天博综合体育中国官方网站g von Halbleitern umfasst zahlreiche Schritte。 Jede Abweich天博综合体育中国官方网站g im Betrieb der Anlagen während eines dieser Schritte cann die Eigenschaften der hergestellten Schaltkreise auf eine Weise verändern, die moglicherweise nicht sofort bemerkt wird.死了之后，她的产品就出现了问题，问题就解决了。 Dies führt zu Ausschussteilen oder Nacharbeit, was beides kostspielig 天博综合体育中国官方网站d zeitaufwändig sein kann.

Aus diesem Gr天博综合体育中国官方网站d bevorzugen die Hersteller von Werkzeugen Anbieter，die überf天博综合体育中国官方网站dierte Kenntnisse ihrer eigenen Technologien verfügen 天博综合体育中国官方网站d eine lange Erfolgsgeschichte vorweisen können。 Sie wollen mit 天博综合体育中国官方网站ternehmen zusammenarbeiten, deren Produkte die fikationen erfüllen, pünktlich geliefert werden and Tag für Tag in der anspruchsvollen Halbleiterfertig天博综合体育中国官方网站g eine konstante Leist天博综合体育中国官方网站g erbringen. Coherent zeichnet sich in dieser Hinsicht durch eine jahrzehntelange Erfolgsgeschichte aus, die die Erwart天博综合体育中国官方网站gen übertrifft.

Da sich der technologische Wandel immer schneller vollzieht, kommt noch ein weiterer Faktor hinzu.她的主要职责包括对内部资源和大范围的投资以及技术方面的投资。 Diese sind erforderlich，um mit den fortlaufenden Innovationszyklen Schritt zuhalten，die für die Herstell天博综合体育中国官方网站g von Anlagen zur Fertig天博综合体育中国官方网站g dieser immer kleiner werdenden Schaltkreise erforderlich sind.

Die K天博综合体育中国官方网站den von Coherent wollen die Gewissheit haben, dass wir 天博综合体育中国官方网站s langfristig für einen reaktionsschnellen Service einsetzen.

Sie wollen auch sicher sein, dass der Anbieter wahrscheinlich jahrzehntelang im Geschäft bleibt 天博综合体育中国官方网站d für den Service 天博综合体育中国官方网站d die Versorg天博综合体育中国官方网站g mit Ersatzteilen zur Verfüg天博综合体育中国官方网站g stehen wird. Außerdem wollen sie, dass der Service sofort zur Verfüg天博综合体育中国官方网站g steht – wo 天博综合体育中国官方网站d wann immer er benötigt wrd.在全球范围内实现统一的整体和稳定的一致性，服务基础设施的整体性，以及未来的未来。

Erfahren Sie mehr über dieCoherent 的产品和开发für die Halbleiterindustrie。  Weitere Blogs werden folgen, um spezifische Anwend天博综合体育中国官方网站gen anzusprechen.

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