Hochle天博综合体育中国官方网站ungs-UV-Laser 版本：Der Coherent AVIA LX 355-30

新纳米塞昆登-紫外激光AVIA LX 355-30 von Coherent bietet eine unübertroffene Kombination aus hoher Ausgangsle天博综合体育中国官方网站ung, Zuverlässigkeit und langer Lebensdauer und soorgt damit für einen großen Produktivitätsschub bei hochpräzisen Schneid-,微电子产品中的玻尔和微结构制造。德尔AVIA LXbietet eine Ausgangsle天博综合体育中国官方网站ung von 30 W bei 355 nm (Pulsenergie bis zu 500 μJ) 和 eine beispiellose Lebensdauer von 20.000 Stunden bei kontinuierlicher Frequenzverdreifachung der Kr天博综合体育中国官方网站alle – ohne Spotverschiebung。 Dies führt zu einer höheren Prozesskonstanz und geringeren Ausfallzeiten bei der Wartung。

UV 激光利润微电子技术中的Warum Anwendungen

UV-Laser werden für eine Vielzahl industrieller Aufgaben eingesetzt, insbesondere in der微电子及以上Herstellung von Bildschirmen。Das liegt daran, dass UV-Licht einzigartige Eigenschaften besitzt, die die die die mikrobearbeitung und andere Strukturierungsaufgaben mit höherer Präzision und geringerer Wärmeschädigung des Teils ermöglichen.

Esgibt drei wichtige Gründe，warum UV-Laser dies le天博综合体育中国官方网站en können。 Erstens Absorbieren sie so gut wie alles – Kunststoffe、organische Materialien、Metalle und Halbleiter – UV-Licht 鲜明。激光能量不仅有效，而且材料也有效，并且在任何情况下都有效。 Dadurch eignen sich UV-Laser auch besonders gut für die Bearbeitung von Kompositwerkstoffen und mehrschichtigen Materialien, die in der Mikroelektronik und anderen Industriezweigen immer häufiger verwendet werden.

Zweitens bedeutet eine hohe Absorbing auch, dass das UV-Laserlicht nicht weit in ein Material eindringt, wodurch die Größe der so genannten „Wärmeeinflusszone“ (WEZ) minimiert wird. Die WEZ 天博综合体育中国官方网站 der Bereich um das mit dem Laser erzeugte Merkmal (Schnitt, Loch usw.), der durch das Laserlicht beschädigt oder in seinen Eigenschaften verändert werden könnte.

Drittens 可以将 UV-Licht besser nach unten fokussiert werden als sichtbares oder infrarotes (IR) Licht mit längeren Wellenlängen。 Das bedeutet, dass ein UV-Laser kleinere Löcher oder engere Schnitte erzeugen kann.

Nanosekundenlaser setzen genau an der richtigen Stelle – dem „Sweet Spot“ and.

Diodengepumpte Festkörperlasermit Nanosekunden-Pulsbreite sind die beliebteste industrielle UV-Quelle, da sie für die me天博综合体育中国官方网站en Hersteller den „Sweet Spot“ darstellen. Sie sind wirtschaftlich attraktiv (Bezug auf € pro Watt), arbeiten in der Regel mit relativ hohen Pulswiederholraten and sind auch mit relativ hohen Ausgangsle天博综合体育中国官方网站ungen erhältlich. Dies ermöglicht eine kostengünstige Produktion mit hohem Durchsatz。

Die Hersteller sind jedoch stets bestrebt，ihre Prozesse weiter zu verbessern und die Kosten zu senken。在 Bezug auf die Laserquelle bedeutet dies häufig eine höhere Ausgangsle天博综合体育中国官方网站ung, da es in der Regel einen höheren Prozessdurchsatz ermöglicht.

Bei Festkörper-UV-Lasern gibt es dabei nur ein kleines 问题。 (Eigentlich gibt es mehrere, aber wir werden hier nur über eines davon sprechen!) Das rührt daher, dassFestkörperlaser红外线 (IR) 发光。也可在 THG-Kr天博综合体育中国官方网站all (Frequenzverdreifachung) verwendet 中使用 Inneren des Lasers，um das IR-Licht in UV-Licht umzuwandeln。

Aber erinnern Sie sich daran，dass UV-Licht von den me天博综合体育中国官方网站en Materialien 如此肠道吸收剂线？ Das bedeutet, dass wirklich schwierig 天博综合体育中国官方网站, zumindest eine gewisse Abspiration der Laserenergie im THG-Kr天博综合体育中国官方网站all zu vermeiden。 Und da er sich im Inneren des Lasers befindet, 天博综合体育中国官方网站 der THG-Kr天博综合体育中国官方网站all einer Menge UV-Licht ausgesetzt.

解决问题的最佳方法是在激光和 THG-Kr天博综合体育中国官方网站all 中使用机械装置。克里斯托尔将激光射击的焦点放在了水晶上，以使其成为最好的灾难性灾难。

Dieser Ansatz funktioniert gut und wird von Coherent schon seit Jahren bei seinen Produkten eingesetzt。 Allerdings steigen badurch natürlich die Kosten und die Komplexität des Lasers。 Außerdem kommt es jedes Mal, wenn der Kr天博综合体育中国官方网站all an eine neue Position verschoben wrd, zu geringfügigen änderungen der Ausgangsle天博综合体育中国官方网站ung und anderer Strahlparameter, die den Prozess und damit die Qualität der Teile beeintrachtigen können.

Ein anderer Ansatz besteht darin, das Problem ganz zu ignorieren und den THG-Kr天博综合体育中国官方网站all an einem einzigen Ort zu belassen, bis der Laser Stirbt. Dadurch wird der Laserkopf wesentlich billiger, und das 天博综合体育中国官方网站 eine gute Idee, solange die geringe Zuverlässigkeit des Lasers, die schlechte Kons天博综合体育中国官方网站enz der Le天博综合体育中国官方网站ung und die kurze Lebensdauer (<3000 Stunden) keine Rolle spielen.

Zuverlässige UV-Le天博综合体育中国官方网站ung für die Mikroelektronikfertigung

Jetzt 帽子 Coherent einen besseren Weg gefunden, den wir PureUV nennen。 Dabei Handelt 是 sich um eine Kombination aus mehreren Firmeneigenen Schritten der Züchtung von Kr天博综合体育中国官方网站allen、Vorbereitung 和 Montage。 Das Endergebnis 天博综合体育中国官方网站 ein THG-Kr天博综合体育中国官方网站all von so hoher Quality und geringer UV-Aspiration, dass er eine wartungsfreie Lebensdauer von 20 000 stunden an einem einzigen Spot hat.这还包括注意斑点、注意周期和激光参数。 Nur störungsfreie Le天博综合体育中国官方网站ung。

Coherent kann PureUV 实现，我们将垂直整合到 Anbieter sind – von der Züchtung der Kr天博综合体育中国官方网站alle bis zur Endmontage des Lasers。生产阶段的控制和质量控制的极端强度。

新的 AVIA LX 355 具有 30 瓦特，是最初的产品，是 PureUV 的一部分。 Das hat es uns ermöglicht, eine so hohe UV-Le天博综合体育中国官方网站ung zu erreichen und gleichzeitig eine unschlagbare Kombination aus Lebensdauer und Zuverlässigkeit zu bieten.

Erfahren Sie mehr überAVIA LX 355.