天博体育-LaserSysteme
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UNSER专有技术IM 天博体育-LASERPROZESS
MIT 50 JAHREN ERFAHRUNG MIT 天博体育-LASERN和OPTISCHEN SYSTEREN verstehen wil die herausforderungen bei der verwendung，formung und fokussierung von von excimer-strahlen。 Dank Vertikaler集成Konstruieren，Fertigen und Montieren wir Komplette SystemeNachHöchsten标准。
天博体育transfer
天博体育transfer-laserunterstütunspezielleanwendungen bei der herstellung von von microled-displays derderNächsten代。
- Hoher Durchsatz - Der Hochenergie-excimer-天博体育serunterstütztGroßeFeldgrößen。
- zukunftssicher - bewältigtIegrößenvon von 50 bis 5 µm。
- DreiSchlüsSelfertigeLösungenFürProzesse Von Forschung und intwicklung bis hin Zur Massenproduktion。
lineBeam
LineBeam 天博体育-LaserSystemeErmöglichenDie Massenfertigung von niedertemperatur-Polysilizium（LTPS） - 背面aufGroßensubstratplatten subittlatten subittlattenmithöchstlenausbeute ausbeute。
- 天博体育nger linienstrahl - bis zu 1500 mm。
- Hoheengogenität - 0.6％（2σ）。
- GROßEBRENNWEITE - BIS ZU±150 µm。
天博体育blade
天博体育BLADE激光Bieten eine eine kosteneffektivelösungfürllollo mit hoher optischer effizienz und brebreiter skalierbarkeit inLinienlängenund Entergiedichte。
- Hoheynogenität - 1,8％
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准分子光束传递光学
holen sie sie siesichüberlegeneoptomechanische werkzeugefüreine eine optimierte optimierte excimer-strahlabgabe für死亡einzigartige kombination aus hoher pulsenergie，kurzen 天博体育-wellenlängenund hoher Leistung。
- yinesieren eines strahls - <±5％fluenzschschwankung。
- 变量dämpfung - präzise -energiesteuerung。
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Vario天博体育s
VARIOLAS IMPIMER-天博体育-LASER BASIEREN AUF DEM LEISTUNGSSTARKSTARKEN COMPEX-EXCIMER-LASER-LASERFürDie Hochwertige 天博体育-Mikromaterialialbearbeitung bearbeitung Mit linienstrahl linienstrahl oder quadratischer strahlfeld.
- Hohe Energiedichte - Bis Zu 7,5 J/cm²。
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- Hohe optischeauflösung - ≥5µm。
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geolasgc recimer-天博体育-systeme kbombinieren 193 nm-pulse，ein leistungsstarkes polarisationsmikroskop mikroskop und hd-kamerabeobachtung die lie die lie lie lie lie lie lie lie lie lig
- Hohe optischeauflösung - 1 µm。
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