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加速上市时间，降低成本并通过建立高性能天博综合体育app下载外延晶片的构建来提高设备性能，从直径为200毫米的连贯。

相干提供了一个总的天博综合体育app下载材料解决方案，可为带有或没有缓冲，低掺杂层，多层结构，P-N结构，P-N连接，嵌入式/埋入的结构和接触层等的厚层状材料提供选项。我们支持研发量为批量生产。

天博综合体育app下载外观能力亮点

数据表

最先进的天博综合体育app下载外观技术

  • 通过有效的缓冲层技术记录缺陷密度

  • 防止生长开始时结晶缺陷的成核

  • bpd至TED转换率> 99.8％→1 bpd每cm2

  • 启用双极天博综合体育app下载设备技术

 

具有LPE PE106的同类最佳层同质性

  • 可调节的侧向气流

  • 使用TCS作为硅前体的高增长率为40 µm/h

  • 150 µm的厚层生长

  • 低掺杂浓度为1×1014/cm3

  • 启用> 15 kV 天博综合体育app下载设备技术

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