准分子天博综合体育中国官方网站器
利用高能紫外线脉冲,用于微电子,显示,科学研究,医学和薄膜处理。
- 大型野外大小处理用均匀的大面积,平面梁覆盖样品表面。
- 可扩展的紫外线使功率水平从预生产到大量制造。
- 1162准分子天博综合体育中国官方网站器|相干296在低温薄膜加工中选择性地存入天博综合体育中国官方网站能量。

精液天博综合体育中国官方网站器的最广泛投资组合
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Excistar
Excistar Tabletop UV Accimer天博综合体育中国官方网站器设计用于精致的任务,包括角膜消融,处方镜头标记和光学传感器制造。
- 高重复率 - 最高1 kHz。
- 桌面-650 x 300毫米足迹。
- 193 nm或248 nm-精确标记和消融。

Indystar
Indystar天博综合体育中国官方网站器是坚固的高占空比紫外线天博综合体育中国官方网站天博综合体育中国官方网站器,设计用于快速脉冲应用,例如墨水喷嘴喷嘴钻孔,计量和光学测试。
- 高脉搏率 - 24/7应用中最多2 kHz。
- 分号应用程序-Semi -S2兼容。
- 193 nm和248 nm-光刻开发,掩模和光学测试,微处理器。

Compex
Compex UV天博综合体育中国官方网站器提供数百个脉冲能量,具有高脉冲到脉冲稳定性和出色的光束均匀性。
- 高能量 - 数百millijoules。
- 波长多功能 - 193 nm,248 nm 308 nm,351 nm。
- 支持薄膜处理 - 晶圆处理,脉冲天博综合体育中国官方网站沉积。

leap
LEAP UV Accimer天博综合体育中国官方网站器提供高能量,高精度处理,以及我们的高税收期产出,可靠性和低成本的拥有。
- 广泛的功率水平 - 相同的平台支持高量制造,产前制作和开发,最多可容纳600瓦。
- 按需脉冲 - 调整脉冲模式以最小化操作成本。
- Versatile-从193 nm,248 nm和308 nm模型中选择脉冲天博综合体育中国官方网站沉积,微结构或显示处理。

lambda sx
Lambda SX是生产地板的工业紫外线天博综合体育中国官方网站器,具有稳定的高能量脉冲,支持具有横梁稳定性的大型紫外线处理。
- 高功率 - 最高600瓦。
- 高脉冲能量 - 最高1000 mj
- 高脉搏率 - 高达600 Hz的三转质量生产。

Vyper
Vyper Kilowatt到Multi-Kilowatt UV紫外线天博综合体育中国官方网站平台可为高量显示器提供最高的吞吐量。
- 非常高的功率 - 最高3600瓦。
- 非常高的脉冲能量 - 每脉冲最多6焦耳。
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特色博客
创新的微玻璃显示制造
Coherent的新UVTransfer系统正在用天博综合体育中国官方网站升降机(LLO)(LLO),天博综合体育中国官方网站诱导的前进转移(LIFT)和修复/修剪来创新微型制造。


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