エキシマ天博综合体育app下载ザで薄膜のパイロット规模から大量生产までのパルス天博综合体育app下载ザ成膜（pld）を実现

课题

薄膜成膜技术は、mems 、半导体、太阳光発电、有机埃尔ディスプレイ、 5G rf フィルターなど、さまざまな市场で応用されています。材料特性がますます重要になる新しい复雑な材料システムには、薄膜成膜技术の绝え间ない拡大と品质の向上が必要であり、より幅広い薄膜加工方法をサポートすると同时に、加工方法の最适化を柔软に行うことが求められています。パルスレーザ成膜（pld）に特化した企业である天博综合体育app下载 社（エンスヘーデ、オランダ は、进化する薄膜产业のために、坚牢で使いやすい成膜装置の开発を目指していました。

ソリューション

天博综合体育app下载 社のチームは、エキシマレーザ光を利用した物理気相成长法（ pld）を用いて、导电性および非导电性の基板上に复雑な化学量论的物质を蒸着しています。同社の pld システムは、成膜パラメーターを完全に制御できるため、组成、结晶性、密度、ポロシティ、膜応力など、最终的な薄膜の特性をエンジニアリングすることができます。薄膜メーカーは、他の成膜技术では実现できない电気的および光学的な薄膜特性を得ることができ、さらに新しい材料システムや応用に挑戦することができます。 coherent lap エキシマレーザシリーズは、 pld エキシマレーザシリーズは、 pld システムのスループットを左右する高エネルギー（最大/パルス（パルス/パルス）とスケーラブルな出力（80 ～300 w）（300 w）（300 w）天博综合体育app下载 天博综合体育app下载 lap 社が采用しました。さらに、24时间24时间365

成果

今日、 天博综合体育app下载社のpld プラットフォームは标准的なクラスターフレームに组み込むことができ、パイロット规模から大量生产まで対応できます。300毫米までのウェハサイズに対応した高品质なpld 加工方法の登场により、产业界のお客様は、薄膜成膜能力を拡大し、约30种类の新しい材料や材料システムを成膜ポートフォリオに加えることができます。

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