天博体育中国官方网站基板とエピタキシー

天博体育中国官方网站エピタキシー

天博体育中国官方网站外观

直径200mmまでのcoherent制高性能天博体育中国官方网站 エピタキシャルウェーハ上に构筑することにより、市场投入までの时间を短缩し、コストを削减して、デバイス性能を向上させます。

相干は、バッファー付きまたはバッファーなしの厚膜エピレイヤー、低ドープ层、多层构造、 pn 接合、はめ込み/埋め込み构造、コンタクト层のオプションにより、総合的な 天博体育中国官方网站材料ソリューションを提供します。研究开発から量产までサポートします。

天博体育中国官方网站エピタキシー机能のハイライト

データシート

最先端の天博体育中国官方网站エピタキシー技术

  • 效率的なバッファ层技术による记录的な低欠陥密度

  • 成长开始时の结晶欠陥の核形成を防止

  • bpdからted> 99.8％→1 bpd/cm2

  • バイポーラ天博体育中国官方网站デバイス技术を実现

 

LPE PE106

  • 调整可能な横方向のガス流

  • シリコン前駆体としてtcs を使用した、 40 µm/hの高い成长速度

  • 150μm以上の厚膜成长

  • 1×1014/cm3の低ドーピング浓度

  • 15 kV超の天博体育中国官方网站デバイス技術を実現

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