半导体装置 - 天博体育app
最先端の光学・机械材料とコンポーネントを使用して、スループットと歩留まりを最大化する装置を构筑し天博体育app。
- 极めて高い安定性热的に革新的な材料をベースにしたコンポーネントを使用して、ウェハ处理ツールを构筑し天博体育app。
- 耐久性のある材料多结晶CVD钻石
- より厳しい公差反応结合シリコンカーバイド（ rb sic）をベースとした最も平坦なウェハテーブルのメリットを活用でき天博体育app。
よい高い分解能
极端紫外线（ euv）リソグラ天博体育appは、5 nmおよびそれ以下の机能をic に搭载します。しかし、この分解能に到达するには、振动安定性、热クリープ、ウェハテーブルの平坦性など、リソグラ天博体育appシステムのあらゆる部分に高い要求が课されます。 coherent は、これらの要件に适合する性能を备えた机械・光学メカニカルコンポーネントを作り出すために、ハイブリッドセラミックやシリコンカーバイドなどの革新的な材料を取り入れてきた先駆者です。また当社は、 euv放射线特有の要求に対応する光学部品も提供しています。
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