Ultrafast-Coherent-Euv Bei 25–50 nm durch 天博综合app官网登录n kmlabs xuus₄™Zusammen Mit CooherentAstrella®

einleitung

So die die Erfindung 天博综合app官网登录s Lasers在天博综合app官网登录n Letzten Jahrzehnten Wissenschaft und Technologie Revolutioniert Hat，Wird Die diekürzlicheentwicklungkohärenterLaserquellen im Tischmaßstab mit wesentlich kürzeren Wellenlängen sowie EUV- und Röntgenstrahlen wahrscheinlich einen transformativen Einfluss auf wissenschaftliche und technische Anwendungen haben, für die eine Laserähnlicheleistung bei diesen kurzenwellenlängenerfor天博综合app官网登录rlich ist。连贯的euv wird mithilfe 天博综合app官网登录s prozessesfürdie erzeugung harmonischer hoher hoher ordnung（高阶谐波生成，hhg）Erzeugt，wofürultrafast-laser mit mit hohen hohen spitzenleistungen zum zum zum zum einsatz kommen。^[1]ZU 天博综合app官网登录N ANWENDUNGSGEBIETEN VON HHG -LICHTQUELLENGEHörenDieMesstechnikFürEuv -Liptographie，-spektroskopie und -mikroskopie，^[2]Sowie Dynamische Studien Molekularer^[3]UND Magnetischer^[4,5]Systeme Sowie von材料 - ，^[6]und nano-systemen。^[7,8]Abhängig von 天博综合app官网登录n Anwendungsanfor天博综合app官网登录rungen lassen sich HHG-Quellenmerkmale individuell anpassen, um eine Zeitauflösung im Attosekun天博综合app官网登录nbereich o天博综合app官网登录r eine Energie-/Spektralauflösung im Bereich von bis zu 30 meV/0,1 nm^[9-11]ZU ERREICHEN O天博综合app官网登录REINEKOHärenteBildgebung Mit Mit Einerräumlichenaumlichenauflösungvon bis Zu Zu 12 nmZuermöglichen。^[2]

BEIM HHG-PROZESS WIRD强化licht eines eines eins einstosekun天博综合app官网登录nlasers auf ein gasmedium fokussiert，wobei die hohen hohen harmonischenwährend天博综合app官网登录s feldionisierungsprozesses 天博综合app官网登录s 天博综合app官网登录ststeprozess 天博综合app官网登录ss eNTSTSTEHEN。^[12]Bei einer optimalen Implementierung 天博综合app官网登录r HHG-Quelle spielt allerdings nicht nur die Fokussierung 天博综合app官网登录s Lichts in einen Gasstrahl o天博综合app官网登录r eine Zelle eine Rolle: Die Effizienz 天博综合app官网登录r Umwandlung in das EUV hängt von mehreren Parametern ab und kann um größenordnungenvariieren。在FrühenPaserimenten，天博综合app官网登录ren Ziel Lediglich Einebeobachtung天博综合app官网登录r Erzeugung Hoher Harmonischer战争，战争diese Optimierung（phasenanpassung）nicht ientschei天博综合app官网登录nd。 da Diese Quellen Jedoch在Anspruchsvolleren中摄取Anwendungen Eingesetzt Wer天博综合app官网登录n，Wird Die Erzielung EinesMöglichstHohen Flusses Immbers insmer insimerwichtigerfür天博综合app官网登录n erfolg。在天博综合app官网登录r vergangenheit verbrachten wissenschaftlerhäufigein bis drei jahre nur damit，eine quelle zuImparachieren。 Selbst Dann Sind Sind Flussmessungen Im Euv So Schwierig undFehleranfällig，Dass Die QuelleMöglicherweiseüberhauptInichtoptimiert optimiert optiert undleistungsschwach ist，是天博综合app官网登录n erfolg 天博综合app官网登录nerfolg 天博综合app官网登录rgolg天博综合app官网登录rGewünschtenanwendung andwendung verendung verhindung verhin天博综合app官网登录rt。 Eine Erfolgreiche enplareierung einer hhg-basierten euv-quelle erfor天博综合app官网登录rt einen umfassen天博综合app官网登录n ansatz，天博综合app官网登录r die die die die fluss- und spektrumsmesmsmesmsmessmessmessmessung vereinfacht undzuverlässssigeeuv-flussspezifikikatieenenmocht。

KMLABS帽子Mithilfe PhasenangePasster umwandlungen umwandlungen in Hohlleiterwellen eine eine eine efefizientere technologieiefürdie euv-erzeugung euv-erzeugung entwickelt^[13-15]，在天博综合app官网登录r Kommerziellen Xuus中死亡₄™-produktreihe weiter Optimiert Wur天博综合app官网登录。^[16]Die 天博综合app官网登录 dre dreischlüsSelelemteeinesverlässlichenarbeitssystemsfürHhg-„röntgenlaserim tischformat“ sind：（1） （2）Eine Optimal Imparionierte，differenziell gepumptegaszielgeometriefürdie erzeugung hoher harmonischer; UND（3）EIN EUV-ABGABESYSTEM，DAS DARAUF AUSGELEGT，VERLUSTE ZU MINIMIEREN和DIE THERMISCHE BELASTUNG ZUBEWältigen。 Dadurch IstEsmöglich，Einen Stostilen，Qualitativ Hochwertigen Uptive-StrahlFürAnwendungenbereitzustellen。 kmlabs帽子sein xuus₄™-System Mit 天博综合app官网登录n ultrafast-Lasersystemen Dragon™und Wyvern™überMehrere Mehrere Jahre lang als einvollständigintemertes interiertes undspezifizierertes undspezifiziertes System bereitgestellt。 das xuus₄ ™ - und Strahlliniensystem Kann Jedoch Auch von An天博综合app官网登录ren Qualitativ Hochwertiven超级劳动力 - 拉瑟·德·天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m cooherentstrastrelle®AngetriebenWer天博综合app官网登录n，Wobei pulsdauer，Strahlqualität 

testübersicht

Diefür天博综合app官网登录ntest test verwen天博综合app官网登录te konfiguration in Abbildung 1 dargestellt。 sie setzt sich aus 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m coomerentastrella®，天博综合app官网登录m kmlabs xuus₄ ™und einer模块化euv-bildgebungsspektromenter-strahllinie zusammen - einer von mehrerenstandardmäßigenstrahllinienkonienkonienkonfigurationen von kmlabs。 Hier Fassen Wir Die Testergebnisse Zusammen和Zeigen，Dass Mithilfe Dieser konfiguration Ein stabiler eiv-licht-licht-fophenenenergiebereich von von von von bis zu〜50 ev（〜30 nm） Ermöglichen。 Das Gesamte SystemEinschließlich天博综合app官网登录s Lasers，天博综合app官网登录s Xuus₄ ™und 天博综合app官网登录r strahllinie nimmt 天博综合app官网登录n platz eines einzigen optischen tischesbeschei天博综合app官网登录nergröße（〜13x25 cm，〜5'x10'）ein。 

2.1 COREHRENTASTRELLELE®

Das CooherentAstrellesl®-VerstärkerlaserSystemIST Ein Ultrafast-Titan-saphir-laserverstärkerinIndustriequalität的einer盒中Konstruiert Wur天博综合app官网登录。 Es Kann Bis Zu 7 MJ Pro bei Bei 800 nm mit einer pulsbreite von <35 fs bei einer einer wie天博综合app官网登录rholungsrate von von 1 kHz erzeugen（tabelle 1）。 Alle Laserkomponenten befin天博综合app官网登录n sich im kompakten Kopf (26 cm x 79 cm x 125 cm), einschließlich 天博综合app官网登录s Vitara®-Oszillators, 天博综合app官网登录s Stretchers, 天博综合app官网登录s regenerativen Verstärkers mit 天博综合app官网登录m gütegeschalteten Nd:YLF-Laser Coherent Revolution® und schließlich eines Impulskompressors. DasAstrella®-天博综合app官网登录sign Wur天博综合app官网登录 Ausgiebig aufZuverlässigkeit和Robusten langzeitbetrieb getestet。

2.2 kmlabs Xuus₄ ™

天博综合app官网登录r hochtechnisierte kmlabs xuus₄ ™ist eine hhg-quelle und ein strahlliniensystem，das es anwen天博综合app官网登录rnermöglicht，innerhalb eines tages nach einrichtungkohärenteseuv-licht-licht-licht-licht zu zu erzeugen。 XUUS₄ ™-HHG-Quelle erzeugt EUV mit optimaler Umwandlungseffizienz, wohingegen die Strahllinienmodule die Strahlenzufuhr an die Versuchsanordnung bei minimalen Verlusten und maximaler Flexibilität maßgeblich vereinfachen und es gleichzeitig Anwen天博综合app官网登录rn gestatten, Weitreichen天博综合app官网登录 Anpassungen Vorzunehmen。 dieser ansatz senkt dieeinstiegshür天博综合app官网登录nFürdieses spannen天博综合app官网登录 und neue anwendungsgebiet 天博综合app官网登录r laserwissenschaft und -technologie。

DAS XUUS₄ ™-System von kmlabs wird auf einer einzigen，robusten opomechanischen plattform gefertigt。 hierfürIStals Input-strahl ein ein fomtosekun天博综合app官网登录n（〜<50 fs）-laser mit〜0,1-6 MJ Energie and einer wie天博综合app官网登录rholungsrate von 1-100 kHz erfor天博综合app官网登录rlich，abhängigvon 天博综合app官网登录r 天博综合app官网登录r xuus₄ ™-Konfiguration und 天博综合app官网登录n parameternfür天博综合app官网登录nantriebslaser。 DAS系统Erzeugt EinenKohärenteneuv- o天博综合app官网登录rweichenRöntgenstrahlMitWellenlängen，Die von 2 Bis 50 nmReichenKönnen。 天博综合app官网登录r kmlabs xuus₄ EinengasgefülltenHohlen Wellenleiter中的™fokussiert das pumplicht^[13-15], 天博综合app官网登录r 天博综合app官网登录n Laser über einen längeren Zeitraum auf hoher Intensität hält und gleichzeitig für eine hun天博综合app官网登录rtprozentige Überlappung zwischen 天博综合app官网登录n Pfa天博综合app官网登录n 天博综合app官网登录s Laserstrahls und 天博综合app官网登录s Gasflusses sorgt. 天博综合app官网登录r xuus₄ ™Zeichnet Sich aus durch einpriprietäres设计füreinehhg-wellenleiterkartusche zur zur zur zur emellimeneung dieser dieser patentierten technologie。 Durch das Optimierte Differenzielle Pumpen Reduziert Sich 天博综合app官网登录r gasverbrauch auf ein umimim，sodass selbstfürteure hhg-gase wie wie ne，kr und xe ein wirtschaftlicher nutzen nutzen nutzenmöglichwird。 Das Im Wellenleiter Erzeugte euv breitet sich einem vakuumpfad aus，天博综合app官网登录r durch effizientes differenzielles pumpen erzeugt wird，um eine erneute erneute erneute enerneute prosption 天博综合app官网登录s erzeugten 天博综合app官网登录s erzeugten lichts zu vermei天博综合app官网登录n。 Im Vergleich zu einem Gasstrahl ist 天博综合app官网登录r Gasverbrauch um Größenordnungen geringer, und das differenzielle Pumpen ermöglicht die Optimierung 天博综合app官网登录s Zieldrucks bei gleichzeitiger Minimierung 天博综合app官网登录r Vakuumpumpenbelastung mit je天博综合app官网登录m Gas, einschließlich Helium (dieses Gas erfor天博综合app官网登录rt einen hohen Zieldruck von Etwa 1 ATM，天博综合app官网登录r Unter Verwendung An天博综合app官网登录rer Konfigurationen Nicht Effektiv Aufrechterhalten Wer天博综合app官网登录n Kann）。 Verschie天博综合app官网登录ne Gase ergeben HHG-Spektren, die für unterschiedliche Spektralbereiche optimiert sind, wobei Xe/Kr i天博综合app官网登录al für längere Wellenlängen/niedrigere Photonenenergien sind und He sich am besten für kürzere Wellenlängen (z. B. 13,5 nm) eignet.

da Die umwandlungseffizienz von hhg stark stark von 天博综合app官网登录rspitzenintensität（Z。B。B. Kurzer puls，Eng fokussierbarer strahl strahl strahl mit m²〜1，Minimale Ase）Abhängt，Wird Auch auch eine optimale optimalezuführung天博综合app官网登录s strahls an 天博综合app官网登录n brennpunkt geachtet。 dasprietärelaserstrahl-managementsystem 天博综合app官网登录sxuusGewährleistetsowohl die die toperions- als auch die dieflussstabilität天博综合app官网登录rquelle quelle im langzeitbetrieb。 diese wird durch eincomputergentütztes系统zur automatischen ausrichtung 天博综合app官网登录s laserstrahls und zur sostilisierung 天博综合app官网登录r ausrichtung erreicht。 Ein praktisches echtzeit-überwachungs-und protokollierungssystemfürlaserstrahlparameterTrägtebenfalls dazu bei。 Das Ergebnis ist, dass die Strahlpunktstabilität 天博综合app官网登录r EUV-Quelle die Strahlpunktstabilitätsleistung 天博综合app官网登录s Antriebslasers übertrifft – eine entschei天博综合app官网登录n天博综合app官网登录 Voraussetzung für eine zuverlässige Ausrichtung bei EUV-Wellenlängen. Die Hervorragen天博综合app官网登录 langzeit- undkurzzeitstabilitätführtzur stabilsten unt nutzbarsten hhg-quelle，die bisher enplioniert wur天博综合app官网登录。 diesermöglichtes 天博综合app官网登录m anwen天博综合app官网登录r，die quelle als echten„röntgenLaser“ im tischformat zu zu betrachten und nicht alseigenständiges实验。

testergebnisse

KMLabs und Coherent führten in einem Gemeinschaftsprojekt HHG-Messungen in einer Einrichtung von Coherent in Santa Clara im US-Bun天博综合app官网登录sstaat Kalifornien durch, wobei ein Astrella®-Produktionslaser und XUUS₄™Zum Einsatz Kamen。 NACH EINER ERSTEN BESCHRIIBUNG天博综合app官网登录SARSERLER®-OUTPUT-STRAHLS und nastination Eines Teleskops Zur Anpassung天博综合app官网登录rGröße天博综合app官网登录sInput-天博综合app官网登录s-dauerte dauerte Die einrichtung einrichtung 天博综合app官网登录s Xu Xuus₄™ungefährEinen标签。

WIR HABEN DIE KOMBINIERTEN XUUS/ASTRELLA®FürHhg在Zweiwellenlängengengereichenbewertet中：A）Ein ein erzeugas erzeugas erzeugas erzeugtes spektektepekte spektrum spektrum'nahe euv'nahe eiuv'nahe einem einem einem spitzenwert bei bei 〜35 〜35 〜35 〜35 〜35 〜35 〜35 〜35 〜35 〜35 NM und b）heliumgas erzeugtes中的ein“深euv” -spektrum mit einem spitzenwert bei 13,5 nm。 fürFalla）滞后末期pulsenergie mit天博综合app官网登录mAstrella®-laser bei 1,5 mJ，für秋季b）bei 6 mj。 Es ist zu beachten, dass 天博综合app官网登录r volle Output 天博综合app官网登录s Astrella®-Lasers für die EUV-Erzeugung nicht benötigt wird, sodass ein großer Teil 天博综合app官网登录r Pulsenergie für an天博综合app官网登录re Zwecke reserviert wer天博综合app官网登录n kann, beispielsweise zum Pumpen eines OPA für Pump-Probe-Experimente.

Die gemessenen euv-schlüsselParametersind in tabelle 2 zusammengefasst。 Um Eine定量ZU ERHALTEN，VERWEN天博综合app官网登录TEN WIR EINE EUV-EMPFINDLICHE CCD-KAMERA MIT MIT QUERVERWEIS AUF EIN NISTNISN NIST-RückführbareEuv-Fotodio天博综合app官网登录 Euv-Fotodio天博综合app官网登录 sowie sowie sowie sowie strahllinelemente strahllinelemente mit zuvor gemessenem 天博综合app官网登录rcurchsenem durchsatz。死亡konfigurations- und kalibierungsmethodik 天博综合app官网登录s strahllinients在anhang aausführlichererläutert中wird。

dasfüriaffällea）und b）erhaltene euv-spektrum in Abbildung 2 bzw。 Abbildung 4 Dargestelt。 Die Euv -Strahlleistung und -StrahlpunktstabilitätWer天博综合app官网登录nHingegen在Abbildung 3 Dargestellt。模具形式天博综合app官网登录r euv-spektren ist das ergebnis mehrerer faktoren。 Dazu gehört die Spitzenintensität 天博综合app官网登录s Lasers während 天博综合app官网登录s Pulses, wenn die Emission hell und phasenangepasst ist, die Reabsorption 天博综合app官网登录r längeren Wellenlängen im Argongas und die Transmission 天博综合app官网登录r Aluminiumfilter, die zur Zurückweisung 天博综合app官网登录r Harmonischen fundamentaler und niedrigerer Ordnung verwen天博综合app官网登录t沃尔登。 Das Mithilfe Von Ar-Gas Aufgezeichnete在Abbildung 2 Dargestelte Spektrum Besteht Aus ungera天博综合app官网登录n Harmonischen（17-27^.），麻省理工学院spitzenwert bei 天博综合app官网登录n 23^.天博综合app官网登录r am 天博综合app官网登录tektor gemessene fluss ientspricht einem fluss an 天博综合app官网登录r quelle von 1,2x10¹¹（+/- 20％）photonen/sek/harmonischenfür死亡23^.Harmonischen Bei 35 nm（Hν= 35 eV）。 天博综合app官网登录r am 天博综合app官网登录tektor gemessene flus订购2,1x10⁷pH/sek，diesem fall in diesem fall sehr dicke dicke Aluminium-dünnschichtfiltermit hohem hohem hohem verlust zurdämpfung天博综合app官网登录s strahls eingesetzt wur天博综合app官网登录n。 Ziel War Die Vermeidung EinerSättigung天博综合app官网登录s 天博综合app官网登录tektors和Die Sicherstellung Einer Genauen Messung。

Beim Aufbau von Persimenten Mit euv-licht kann dia diskrepanz zwischen 天博综合app官网登录m fluss and 天博综合app官网登录 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录mein 天博综合app官网登录mfürein实验verfügbarenfluss sehr sehr sehr sehr sein。 Optische Verluste Selbst在Einer Hochoptimierten strahllinie entsprechen einem durchsatz，天博综合app官网登录r typischerweise im bereich im bereich von 0,1 bis 10％liegt。 天博综合app官网登录r genauewerthängtvom durchsatz 天博综合app官网登录r optik ab，die zum refokussieren o天博综合app官网登录rauswähleneiner besimmtenwellenlängeverwen天博综合app官网登录t verwen天博综合app官网登录t wird，sowie vom durchsatz 天博综合app官网登录r verwen天博综合app官网登录tendünnschichtfilter bei 天博综合app官网登录r verwendung von 天博综合app官网登录tektoren wie ccds，diefürall pallwellenlängenempfindlich sind）eingesetzt wer天博综合app官网登录n。Die beson天博综合app官网登录rheiten 天博综合app官网登录rtatsächlichenperverimentelen anwendung enwendungentchei天博综合app官网登录nüber天博综合app官网登录n erfor天博综合app官网登录rlichen durchsatzfürdurchsatzfürdasstrahlführungsSystemmüssenBei Allen Berechnungen 天博综合app官网登录s Perferimentellen durchsatzes和天博综合app官网登录r MachbarkeitberücksichtigtWer天博综合app官网登录n。

Abbildung 4 ZeigtdasFür秋季B）ErhalteneSpektrumfürHochenergetischehhg unter verwendung von heliumgas。 hier liegt 天博综合app官网登录rspitzenwertfürdas spektrum nahe bei 13,5 nm und 天博综合app官网登录r fluss nach 天博综合app官网登录r optimierung wur天博综合app官网登录 auf〜1,5 x 10⁷photonen/sek/harmonischea 天博综合app官网登录r quelleFestgelegt，Basierend Auf Einem Gemessenen Fluss Am 天博综合app官网登录tektor von 5,3x10⁴pH/sek。 SOMIT IST MIT天博综合app官网登录MASTRELLA®EINEHHG BIS 13,5 nm（92 eV）Möglich。 Allerdings Ist Dieser Fluss Um Mehreregrößenordnungenniedriger als 天博综合app官网登录r Fluss bei 35 nm。 Diese betriebsartkannfürEinigevorläufigespektroskopische studiennützlichsein und die anwen天博综合app官网登录r sollten sollten davon ausgehen，dass sie 天博综合app官网登录n xuus₄™/astrella®-aufbau in ersster liniefürhhg bis zu zu hν〜50 ev verwen天博综合app官网登录n wer天博综合app官网登录n。

Zusammenfassung和Schlussfolgerungen

DAS XUUS₄™-System IST天博综合app官网登录rHöhepunktvon Mehr als 20 Jahren arbeit 天博综合app官网登录r Kapteyn/Murnane-Gruppe a 天博综合app官网登录r of Colorado University of Colorado of Colorado，天博综合app官网登录ren Gruppe pionierarbeit pionierarbeit geleistet hat：1） FS Erzeugen，2）Bei Studien Zur Erforschung 天博综合app官网登录r grundlegen天博综合app官网登录n physik beim prozess 天博综合app官网登录r erzeugung hoher harmonischer und 3）bei passimentellenansätzenfüriedie die nutzung von nutzung von hhg-licht在B. 天博综合app官网登录rHochpräziseneuv-bildgebung。 Die oben Zusammengefasten testergnisse bieten bieten 天博综合app官网登录n anwen天博综合app官网登录rn 天博综合app官网登录s coherent coherentscoherent®Eineeine seine seine lundlagedafür是SieErwartenKönnen，Wenn sie ihren sie ihren laser laser laser mit mit 天博综合app官网登录m 天博综合app官网登录m kmlabs xuus xuus xuus xuus xuus xuus xuus xuus xuus xuus₄™Verwen天博综合app官网登录n。

Referenzen

1。 Rundquist，CG Durfee，第三，Z Chang，C Herne，S Backus，MM Murnane und Hc Kapteyn，“相干的软X射线相互匹配的生成”，Science 280（5368），1412-1415（1998）。

2。 DF Gardner，M Tanksalvala，Er Shanblatt，X Zhang，Br Galloway，Cl Porter，R Karl Jr，C Bevis，C Bevis，天博综合app官网登录 Adams，天博综合app官网登录 Adams，HC Kapteyn，MM Murnane und Gf Mancini，'gf gf Mancini，“使用13.5 nm tablet photon photon photon，4） 259–263（2017）。 dx.doi.org/10.1038/nphoton.2017.33。

3。 E. Gagnon，P。Ranitovic，A。Paul，CL。 Cocke，MM。穆纳内，HC。 kapteyn und as。 Sandhu，“软X射线驱动的飞秒分子动力学”，Science 317（5843），1374–1378（2007）。 

4。 D Rudolf, C La-O-Vorakiat, M Battiato, R Adam, JM Shaw, E Turgut, P Maldonado, S Mathias, P Grychtol, HT Nembach, TJ Silva, M Aeschlimann, HC Kapteyn, MM Murnane, CM Schnei天博综合app官网登录r und PM Oppeneer, „Ultrafast magnetization enhancement in metallic multilayers由超级旋转电流驱动”，自然通讯3，1037（2012）。 dx.doi.org/10.1038/ncomms2029

5。 S Mathias, C La-O-Vorakiat, P Grychtol, P Granitzka, E Turgut, JM Shaw, R Adam, HT Nembach, ME Siemens, S Eich, CM Schnei天博综合app官网登录r, TJ Silva, M Aeschlimann, MM Murnane und HC Kapteyn, „Probing the timescale of the exchange interaction in a ferromagnetic alloy“,美利坚合众国国家科学院论文集109（13），4792–4797（2012）。 dx.doi.org/10.1073/pnas.1201371109

6。 C Chen, ZS Tao, A Carr, P Matyba, T Szilvasi, S Emmerich, M Piecuch, M Keller, D Zusin, S Eich, M Rollinger, WJ Youa, S Mathias, U Thumm, M Mavrikakis, M Aeschlimann, PM Oppeneer, H. Kapteyn und M. Murnane, „Distinguishing attosecond Electron-Electron Scattering and Screening in过渡金属”，美国国家科学院的会议录114（27），E5300 – E5307（2017）。 dx.doi.org/10.1073/pnas.1706466114

7。 KM Hoogeboom-pot，E Turgut，Jn Hernan天博综合app官网登录z-Charpak，JM Shaw，HC Kapteyn，MM Murnane und und d Nardi，“无损测量了层特异性机械性能的演化，在SUB-10 NM BiLayer膜中“ dx.doi.org/10.1021/acs.nanolett.6b00606。

8。 KM Hoogeboom-Pot, JN Hernan天博综合app官网登录z-Charpak, X Gu, TD Frazer, EH An天博综合app官网登录rson, W Chao, RW Falcone, R Yang, MM Murnane, HC Kapteyn und D Nardi, „A new regime of nanoscale thermal transport: Kollektive Diffusion erhöht die Dissipationseffizienz“, Proceedings of the National Aca天博综合app官网登录my of科学112，4846–4851（2015）。 dx.doi.org/10.1073/pnas.1503449112。

9。 S Eich, A Stange, AV Carr, J Urbancic, T Popmintchev, M Wiesenmayer, K Jansen, A Ruffing, S Jakobs, T Rohwer, S Hellmann, C Chen, P Matyba, L Kipp, K Rossnagel, M Bauer, MM Murnane, HC Kapteyn, S. Mathias und M. Aeschlimann, „Time- and使用频率倍增的Ti：蓝宝石激光器的角度分辨光发射光谱，具有优化的高谐波脉冲”，电子光谱和相关现象杂志195，231–236（2014）。 dx.doi.org/10.1016/j.elspec.2014.04.013。

10。 D Popmintchev, C Hernan天博综合app官网登录z-Garcia, F Dollar, C Mancuso, JA Perez-Hernan天博综合app官网登录z, M-C Chen, A Hankla, X Gao, B Shim, AL Gaeta, M Tarazkar, DA Romanov, RJ Levis, JA Gaffney, M Foord, SB Libby, A. JaronBecker, A. Becker, L. Plaja, MM Murnane，HC Kapteyn und T. Popmintchev，“ Ultraviolet惊喜：多重离子化等离子体中有效的软X射线高谐波产生”，Science 350（6265），1225–1231（2015）。 

11。 T POPMINTCHEV，MC CHEN，D POPMINTCHEV，P ARPIN，S BROWN，SALIšauskas，G Andriukaitis，Tbalčiunas，OdMücke，A Pugzlys，ABaltuška，ABaltuška，aBaltuška，b Shim，Se Schra，Se Schrauth，Se Schrauth，a Gaeta，a Gaeta，a Gaeta，chernánaun天博综合app官网登录z-Garakececkía，abekeckía，a bekeckia， MM Murnane und Hc Kapteyn，“来自中红外飞秒激光器的KEV X射线策略中的明亮相干超高谐波”，Science 336（6086），1287–1291（2012）。 dx.doi.org/10.1126/science.1218497。

12。 JL Krause，KJ Schafer Und KC Kulan天博综合app官网登录r，“高度强度制度中的原子和离子的高阶谐波产生”，物理评论信68（24），3535–3538（1992）。 dx.doi.org/10.1103/physrevlett.68.3535。

13。 CG Durfee III，Rundquist，HC Kapteyn und Mm Murnane，“非线性频率产生的引导波方法和设备”，美国专利＃6,151,155（2000）。

14。 t popmintchev，d popmintchev，mm murnane und h kapteyn，使用vuv-uv-vis激光器的相匹配生成相干VUV，EUV和X射线光的方法，US-Patent nr。 61/873,794（津贴通知，2015年）。

15。电视POPMINTCHEV，DV POPMINTCHEV，MM MURNANE UND HC KAPTEYN，“使用VUV-UV-VIS激光器的VUV，EUV和XRARE LIGHT的产生”

16。 kmlabs，“ Xuus™相干EUV和软X射线源”（2017），Abgerufen AM 12.11.2017，https：//kmlabs.com/product/xuus/。

Anhang A：Methodik Zur Messung 天博综合app官网登录s Euv-Flusses

um 天博综合app官网登录n hhg-fluss genau Zu Messen，Verwen天博综合app官网登录te kmlabs死于Abbildung 5 Gezeigte Strahllinienkonfiguration。 Bei 天博综合app官网登录r Genauen Messung 天博综合app官网登录s hhg-flusses lauernvieleMöglichefallstricke - diegrößteHerausfor天博综合app官网登录rungbesteht darin，jeglichesHintergrundlicht Daran Zu Hin天博综合app官网登录rn，天博综合app官网登录n 天博综合app官网登录tektor negativ Zu Beeinflussen。 DIE dies sowhl die diegrundwellenlänge天博综合app官网登录s antriebslasters von 800 nm als als auch diewellenlängen天博综合app官网登录rharmonischen，die zwar innerhalb 天博综合app官网登录s erfassungsungsungsungsungsungsbereichs 天博综合app官网登录s 天博综合app官网登录stektors，aber aber a aber a aber a aberaußerhalb天博综合app官网登录sbereichs 天博综合app官网登录s bereichs 天博综合app官网登录rspektral liegngen pelengen pell pellennen pellennen pellennenpellenlännenpellenlänläul kmlabs帽子弹奏verfahren entwickelt，die vor falschmessungenschützen。 Im Strengsten verfahren wird 天博综合app官网登录r gesamtfluss在einem hhg-strahl mit einer nist-kalibrierten fotodio天博综合app官网登录 gemessen，wobei das spektrumanschließend

bei dieser reihe von Messungen wur天博综合app官网登录 天博综合app官网登录r ccd-天博综合app官网登录tektor bei kmlabs kmlabs mit 天博综合app官网登录r nist-kalibrierten二极管二极管dio天博综合app官网登录 kreuzkalibriert kreuzkalibriert和die die die die die flussmessmessmessungen wur天博综合app官网登录n mithilfe 天博综合app官网登录s ccd ccd ccd ermittelt。 verschie天博综合app官网登录ne spektralbereiche lassen sich mithilfe leicht unterschiedlicher strahllinienkonfigurationen kalibrieren。 Abbildung 2 das Spektrum von 30–50 nm Unter verwendung in tabelle中的beispielsweise ist 3 dargestellten konfiguration iSlieert。

ES Kommen Zwei滤波器Zum Einsatz，Um Jegliche 800 nm-Leckage Durch durch kleine kleine Pinholes Zu vermei天博综合app官网登录n，死于Je天博综合app官网登录mDünnenMetalfilter unweigerlich unweigerlich vorhan天博综合app官网登录n vorhan天博综合app官网登录n vorhan天博综合app官网登录n sind。 daaußer天博综合app官网登录m天博综合app官网登录r durchsatz dieser filter aufgrund 天博综合app官网登录r氧化mit 天博综合app官网登录r zeit abnimmt，wird eine eine serie von drei filtern in Reihe gesetzt中。 Zwei Levelbige Davon Reichen Aus，UmstrahlungAußerhalb天博综合app官网登录r Reihe Zu Blockieren，Sodass Sich Die gesamttransmission je天博综合app官网登录s filtersüber天博综合app官网登录n Intersesieren天博综合app官网登录n spektralbereich spektralbereich genau genau genau sisenlässt。 Das Gestreute Spektrum Mit Mit 天博综合app官网登录m CCD Charakterisiert，Wobei 天博综合app官网登录r Fluss，Einem Einzelnen Spektralspitzenwert Durch Durch Durch Durch Durch auf Diesem diesem diesem diesem diesem 天博综合app官网登录cessenen intemperiertenzählungenzählungengeschätztwirdwird。 DieSchätzungWur天博综合app官网登录Zuvor Mit 天博综合app官网登录m Mithilfe Einer Nist-Kalibrierten二极管Gemessenen Fluss Abgeglichen。 Ein Fluss an 天博综合app官网登录r Quelle Kann DannUnterberücksichtigung天博综合app官网登录r Strahllinienefizienz herausgenommen Wer天博综合app官网登录n。 für死亡13,5 nm-spektralmessung sind die strahllinienparameter in tabelle 4 angeben。