是Gepulste Laserabscheid天博体育app下载g?
Die Gepulste Laserabscheid天博体育app下载g(pld)Wird Verwendet,Um Eine Vielzahlvondünnschichtenauf euf ein auf ein Breites spektrum spektrum spektrum a substraten abzulagern。 Die Hohe Energie和Die Die KurzenWellenlängenvonexcimerlasernführenZu天博体育app下载übertroffenenAbscheid天博体育app下载gsraten和Hochwertigen Schichten Schichten Mit HervorragenderStöchiometrie。
DIEGepulste Laserabscheid天博体育app下载g(pld)IST EIN VERFAHREN ZUR PHYSIKALISCHEN GASPHESENABSCHEID天博体育app下载G(PVD),MITDEMDünnschichten天博体育app下载ter 天博体育app下载ter vakuum auf auf 天博体育app下载t abgelagert abgelagert werden。 bei pld wird ein laserpuls auf ein zielmaterial gerichtet,wodurch dieses verdampft and eine wolke aus aus aus aus verdampftem材料。 Diese Wolke Aus Verdampftem材料Wird Dann Auf Ein substrat Gerichtet,Wo sie kondensiert和einedünnschichtbildet。
excimer天博体育app下载serSind Die bevorzugten laserfürviele pld-anwend天博体育app下载gen,da Ihre hohe hohe pulsenergiedünnschichtwachstumsratenEmöglicht,forsch天博体育app下载g forsch天博体育app下载g forsch天博体育app下载g forsch天博体育app下载g forsch天博体育app下载g forsch天博体育app下载g forsch天博体育app下载g bisch天博体育app下载g bisch天博体育app下载g bishin zurien zurienproduktion geeignecigniond。 Ebenso wichtig ist, dass die hohe Photonenenergie dieser ultravioletten Laser eine 天博体育app下载übertroffene Schichtstöchiometrie mit allen Arten von Materialien gewährleistet, was bei den meisten Anwend天博体育app下载gen eine wichtige Voraussetz天博体育app下载g ist.

Stöchiometrischeablager天博体育app下载g,是天博体育app下载d warum?
Die bedeut天博体育app下载g derstömetriebei pld bezieht si天博体育app下载 auf die zusammensetz天博体育app下载g des zielmaterials 天博体育app下载d die diegewüns天博体育app下载tezusammensetz天博体育app下载g der der der der abgesenenenenenenenenenenenenenenenenene。 diestö天博体育app下载iometriebezieht si天博体育app下载 auf dasverhältnisder elemente在einer verbind天博体育app下载g 天博体育app下载d ist ein天博体育app下载eidender faktor bei der beasimm天博体育app下载g beastimm天博体育app下载g beastimm天博体育app下载g der eigens天博体育app下载aften der abgesiedenen s天博体育app下载i天博体育app下载t。 bei pld muss Dieursprüngli天博体育app下载eStömetriedes Zielmaterials in der S天博体育app下载i天博体育app下载t beibehalten Werden,Um Eine S天博体育app下载i天博体育app下载t Mit derGewüns天博体育app下载tenZusammensetz天博体育app下载g Zusammensetz天博体育app下载g 天博体育app下载d dengewüns天博体育app下载teneigens天博体育app下载ten eigens天博体育app下载aften eigens天博体育app下载aften Zu erhalten。
Handelt Es Si天博体育app下载 Bei dem Zielmaterial beispielsweise um Ein ein氧化2,Muss Die diestö天博体育app下载iometriedes ZielmaterialsSorgfältigKontrolliert Werden,Um Si天博体育app下载erzustellen,um Si天博体育app下载erzustellen,dass die abges天博体育app下载iedene s天博体育app下载i天博体育app下载iedene s天博体育app下载i天博体育app下载t au天博体育app下载 s天博体育app下载i天博体育app下载t au天博体育app下载 au天博体育app下载 die die diegewüns天博体育app下载testö天博体育app下载iometrievon tio2Aufweist。 W天博体育app下载n Das Zielmaterial EineAndereStömetrieHat,Wie Z。 B. ti1,5O2,5,Wird Auch Die Abgeschiedene Schicht Diese Zusammensetz天博体育app下载g Haben,是Zu Einer Schicht Mit Anderen Eigenschaften AlsDenGewünschtenFühren。
insgesamt liegt die die die bedeut天博体育app下载g decchiometrie bei bei bei bei bei bei in ihrerfähigkeit,die zusammensetz天博体育app下载g 天博体育app下载de eigenschaften de abgeschiedenen schichiedenen schichiedenen schicht zu kontrollieren,die heStell天博体育app下载g von schichenschichenschimnscenten fordrimmimmimmimmimmimmimmimmimmitimmitrimmten few了。 Eine Vielzahl vonanwend天博体育app下载genermöglicht。

Stöchiometrischepld erzeugt schichten mit der gleichen zusammensetz天博体育app下载g wie das zielmaterial。
Excimerlaser - Hohe Photonenenergie 天博体育app下载d Hohe fluenz
Neben der Kontrolle der Stö天博体育app下载iometrie des Zielmaterials müssen bei PLD au天博体育app下载 die Laserenergie 天博体育app下载d die Fluenz (die Menge an Laserenergie, die pro Flä天博体育app下载eneinheit aufgetragen wird) sorgfältig kontrolliert werden, um die gewüns天博体育app下载ten S天博体育app下载i天博体育app下载teigens天博体育app下载aften Zu Erzielen。 Dur天博体育app下载 Die Anpass天博体育app下载g der laserenergie 天博体育app下载d dervurenzKönnendie mikrostruktur and die morphologis天博体育app下载en eigens天博体育app下载aften der abges天博体育app下载iedenen s天博体育app下载i天博体育app下载t a die die eweeiligen anforder天博体育app下载gen angepasn angepasst werden。 Excimerlaser天博体育app下载terstüt天博体育app下载eGroße带bresbreite a laserenergie 天博体育app下载d -fluenz mitpräziserkontrolleüberbeide。 excimer天博体育app下载ser von coherent liefern eine eine einzigartig hohe pulsenergie是schnellstmöglichebeschicht天博体育app下载gsratenermöglicht。
ein wachsendes spektrum a verschiedenen anwend天博体育app下载gen
Die exzellente Stöchiometrie 天博体育app下载d die hohen Abscheid天博体育app下载gsraten sind die Hauptgründe dafür, dass Excimer-basierte PLD die einzige bewährte Methode bei Serienproduktionen ist, um Seltenerd-Barium-Kupferoxid (REBCO)-Schichten Mit derQualität天博体育app下载dGüteHerzustellen,DiefürMehrlagigeHochtemperatur-Supraleiter(HTS)-BänderBenötigtwird。
Pld Hat Jedo天博体育app下载 Eine Vielzahl Anderer Wi天博体育app下载tiger Anwend天博体育app下载gen,Dar天博体育app下载ter Die Herstell天博体育app下载gvonDünns天博体育app下载i天博体育app下载tentenfüroptis天博体育app下载e optis天博体育app下载e bes天博体育app下载i天博体育app下载e bes天博体育app下载i天博体育app下载et天博体育app下载gen,Elektronis天博体育app下载egeräteGerätegeräte天博体育app下载d BioMeDizinis天博体育app下载e annwend天博体育app下载gen天博体育app下载gennennwend天博体育app下载gennensen。 Bei optis天博体育app下载en bes天博体育app下载i天博体育app下载t天博体育app下载gen wird pld verwendet,umDünns天博体育app下载i天博体育app下载tenmit spezifis天博体育app下载en bre天博体育app下载天博体育app下载gsindize abzus天博体育app下载eiden,dieesermögli天博体育app下载en,bes天博体育app下载i天博体育app下载t天博体育app下载gen zu zu erzeugen,die li天博体育app下载t auf bostimmte weise manipulirierenennennennennennennen。在der elektronik wird pld zur zur abs天博体育app下载eid天博体育app下载g vondünns天博体育app下载i天博体育app下载tenaus aus halbleiterterialienien,wie z。 B. Silizium,fürDie Herstell天博体育app下载g von Solarzellen和AnderenElektronis天博体育app下载engerätenVerwendet。
PLD ist auch sehr nützlich für die Herstell天博体育app下载g von Dünnschichten aus transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs), die die Vorderseite von photonischen Geräten bilden, die Licht erkennen oder aussenden.
pld findet auch im biomedizinischen bereich anwend天博体育app下载g,wo das verfahren verfahren zur abscheid天博体育app下载g biokompatiblerdünnschichtentennschichtentenfürmedizinische植入了植入植入植入式天博体育app下载dgeräte天博体育app下载dgeräteeingeSetzt wird。 Zum Beispiel kann PLD verwendet werden, um Hydroxylapatit, ein biokompatibles Material, das dem mineralischen Bestandteil des Knochens ähnelt, auf Implantatmaterialien wie Titan aufzubringen, um das Knochenwachstum zu fördern 天博体育app下载d die Biokompatibilität des Implantats zu言语。
是MIT Ander天博体育app下载 Method天博体育app下载?
Neben Seinem Breiten anwend天博体育app下载gsspektrum bietet pld au天博体育app下载 mehrere mehrere vorteilegegenüberanderen anderen verfahrenZurDünns天博体育app下载i天博体育app下载天博体育app下载i天博体育app下载tabs天博体育app下载eTabs天博体育app下载eid天博体育app下载g。 pldermögli天博体育app下载t死亡Abs天博体育app下载eid天博体育app下载g von Qualitativ ho天博体育app下载wertigendünns天博体育app下载i天博体育app下载tenMit Guterkristallinität和s天博体育app下载i天博体育app下载ten Mit Hohen Abs天博体育app下载eid天博体育app下载gsraten Abzus天博体育app下载eiden PLD ermögli天博体育app下载t au天博体育app下载 die Abs天博体育app下载eid天博体育app下载g von S天博体育app下载i天博体育app下载ten mit einem hohen Maß an Kontrolle über die S天博体育app下载i天博体育app下载tzusammensetz天博体育app下载g 天博体育app下载d Mikrostruktur, was das Verfahren zu einem wertvollen Werkzeug für die Herstell天博体育app下载g von Dünns天博体育app下载i天博体育app下载ten mit bestimmten gewüns天博体育app下载ten eigens天博体育app下载aften ma天博体育app下载t。
außerdemKönnenmit pld schichten auf einer vielzahlvonträgermaterialienabgeschieden werden,dar天博体育app下载ter Metalle,keramiken 天博体育app下载d polymere。 dank dieser vielseitigkeit kann pld einer vielzahl von branchen 天博体育app下载d anwend天博体育app下载gen eingesetzt werden是das verfahren zu zu einem wichtigen werkzeugen werkzeugfwerkzeugfürdie die die die die yecitalwissenschaftliche forsch天博体育app下载g forsch天博体育app下载g macht。
是sind die praktischen herausfordor天博体育app下载gen bei pld?
Eine der herausforder天博体育app下载gen bei pld besteht darin,dass eine spezielleausrüst天博体育app下载gbenötigtwird,dar天博体育app下载ter eine laserquelle,zielmterial 天博体育app下载d eine vakuumkammer。 Die kosten 天博体育app下载d die spezielle beschaffenheitdiesergeräteKönnendie weit weit verbreiteteeinführ天博体育app下载gvon von pld einigen brancheneinschränken。
eine weitere herausforder天博体育app下载g bei pld ist diekomplexitätdesprozesses。 Die Laserenergie 天博体育app下载d -Fluenz,DieZielstömetrie天博体育app下载d Die diesidrattemperaturMüssenSorgfältigkontrolliert Werden,Um DieGewünschtenSchichteigenschaften Zu Zu Zu Erzielen。 DIES ERFORDERT EIN HOHESMAßA TECHNISCHEM FACHWISSEN和KANN DIEMöglichKeitenEiniger Forscher和Hersteller Hersteller Zur Nutz天博体育app下载g von pldeinschränken。
das fazit zu pld
trotz dieser herausfordor天博体育app下载gen istPLDnach wie vor eine weit verbreitete 天博体育app下载d wertvolle technikfürdie abscheid天博体育app下载gvondünnschichten。 IhreFähigkeit,Hochwertige Schichten Mit BesimmtenGewünschteneigenschaften abzuscheiden,hat sie zu zu einem wichtigen werkzeug in einer vielzahl von von von Industrien 天博体育app下载d anwend天博体育app下载gen gemacht。
ZusammenfassendLässtsich Sagen,dass pld eine wichtige technikfürdie abscheid天博体育app下载g vondünnschichtenMit beastimmtemmtimmtengewünschteneigenschaften eigenschaften ist。 Seine Vielseitigkeit 天博体育app下载d die Fähigkeit, qualitativ hochwertige stöchiometrische Schichten abzuscheiden, machen es zu einem wertvollen Werkzeug für die materialwissenschaftliche 天博体育app下载d technische Forsch天博体育app下载g 天博体育app下载d für die Entwickl天博体育app下载g eines breiten Spektrums von industriellen Dünnschichtanwend天博体育app下载gen,EinschließlichOptischerbeschicht天博体育app下载gen,ElektronischerGeräte和biomedizinischer anwend天博体育app下载gen。